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上海市科委纳米专项基金(0352nm010)

作品数：4 被引量：23H指数：3
相关作者：孙洪文刘景全顾盼陈迪杨春生更多>>
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地区

  • 6个上海市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
孙洪文
供职机构：河海大学物联网工程学院
研究主题：纳米压印 母板 纳米图案 微机电系统 微电子工艺
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刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾盼
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 纳米压印 防粘连 表面能 RIE
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈迪
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：光刻 结构性能 旋涂 纳米压印
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾盼
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：醇酯 PETG 热压印 塑料 旋涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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