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上海市教育发展基金会晨光计划项目(2008CG25)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：王晓强王占山潘磊朱京涛张众更多>>
相关机构：同济大学更多>>
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领域

  • 5个机械工程
  • 5个理学
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主题

  • 5个多层膜
  • 5个原子力显微镜
  • 4个单层膜
  • 3个等离子体
  • 3个等离子体诊断
  • 3个电镜
  • 3个多通道
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  • 2个单级
  • 2个单色
  • 2个单色器
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  • 2个导模
  • 2个导模共振
  • 2个低密度
  • 2个低温退火
  • 2个低应力
  • 2个电场
  • 2个电子能
  • 2个电子能谱

机构

  • 5个同济大学
  • 3个上海市特殊人...
  • 1个复旦大学
  • 1个教育部
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院长...
  • 1个中国科学院长...
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资助

  • 5个国家高技术研...
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  • 5个上海市自然科...
  • 5个上海市教育发...
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  • 3个上海市青年科...
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传媒

  • 5个光子学报
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  • 4个红外与激光工...
  • 4个光学精密工程
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  • 4个光学学报
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  • 2个物理
  • 2个光学技术
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地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
王占山
供职机构：同济大学
研究主题：多层膜 极紫外 软X射线 反射率 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱京涛
供职机构：同济大学
研究主题：多层膜 磁控溅射 极紫外 反射率 周期多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘磊
供职机构：同济大学
研究主题：粗糙度 磁控溅射制备 表面粗糙度 多层膜 原子力显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓强
供职机构：同济大学
研究主题：多层膜 面形误差 反射率 极紫外 超光滑表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张众
供职机构：同济大学
研究主题：多层膜 极紫外 磁控溅射 X射线 反射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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