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国家高技术研究发展计划(2007AA042315)
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刘柏旭
陈立国
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刘柏旭
供职机构:哈尔滨工业大学机电工程学院机器人研究所
研究主题:微夹持器 微操作 微机电系统 气动 MEMS
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陈立国
供职机构:苏州大学
研究主题:电极 MEMS 阳极键合 显微视觉 键合
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