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国家重点基础研究发展计划(2006CB300403)

作品数：7 被引量：12H指数：2
相关作者：王跃林李铁杨恒焦继伟周萍更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院东南大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程天文地球更多>>

领域

  • 16个电子电信
  • 13个机械工程
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  • 2个生物学
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  • 1个天文地球
  • 1个动力工程及工...
  • 1个水利工程

主题

  • 13个衬底
  • 12个传感
  • 11个感器
  • 11个传感器
  • 10个电阻
  • 10个静电
  • 9个液滴
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  • 5个单片
  • 5个氮化
  • 5个弹性梁
  • 5个低电压
  • 5个低工作电压
  • 5个低功耗
  • 5个电极结构

机构

  • 16个中国科学院
  • 7个中国科学院研...
  • 3个中科院上海微...
  • 3个中国科学院上...
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  • 1个国防科学技术...
  • 1个华东师范大学
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  • 1个华中理工大学
  • 1个中国航天员科...
  • 1个沈阳仪器仪表...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 17个国家重点基础...
  • 13个国家高技术研...
  • 12个国家自然科学...
  • 5个国家重点实验...
  • 5个上海-AM基...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个“上海－应用...
  • 3个上海市科学技...
  • 3个中国科学院战...
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传媒

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  • 10个传感技术学报
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  • 6个中国机械工程
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  • 4个光学学报
  • 4个中国科学基金
  • 4个微纳电子技术
  • 3个分析化学
  • 3个光电子．激光
  • 3个红外与激光工...

地区

  • 16个上海市
  • 1个江苏省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
皋华敏
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：液滴 低电压 参考电极 孔结构 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘翔
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：液滴 静电驱动 低电压 静电力 温度梯度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周萍
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：液滴 驱动器 传感器 车辆 减速
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：纳米 MOS电容 空间电荷区 电极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈云飞
供职机构：东南大学
研究主题：纳米孔 分子动力学模拟 分子动力学 导热系数 电渗流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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