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国家重点基础研究发展计划(513270505)
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马志勇
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王翠梅
刘新宇
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马志勇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 氮化铝 迁移率 电学性能 金属有机物化学气相沉积
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王占国
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:量子点 量子级联激光器 砷化镓 衬底 分子束外延
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 外延层
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:HEMT ALGAN/GAN GAN KU波段 ALGAN/GAN_HEMT
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供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 MOCVD GSMBE生长 GSMBE 碳化硅衬底
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
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王晓亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 GAN 铝镓氮 高电子迁移率晶体管 分子束外延
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肖红领
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 铝镓氮 成核 迁移率 高电子迁移率晶体管
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王翠梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 铝镓氮 高电子迁移率晶体管 迁移率 势垒
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罗卫军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 HEMT 金属 GAN ALGAN/GAN
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