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国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)

作品数：7 被引量：30H指数：3
相关作者：李艳秋曹振孙圆圆刘菲梅秋丽更多>>
相关机构：北京理工大学北京航天计量测试技术研究所中国科学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

领域

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机构

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地区

  • 5个北京市
  • 1个四川省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹振
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外 投影光刻物镜 放大倍率 反射镜 光学设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙圆圆
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：光刻物镜 公差分析 极紫外光刻 极紫外 大数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梅秋丽
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外光刻 光阑 紫外光刻 照明系统 复眼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘菲
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：极紫外光刻 投影物镜 大数值孔径 EUVL 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
章明
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：主镜 移动靶 大口径 次镜 测角仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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