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中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B040344)
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相关作者:
张凤田
刘恒
何晓平
施志贵
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国工程物理研究院科学技术发展基金
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刘恒
供职机构:重庆大学
研究主题:加速度计 微机械 水含量 微加速度计 微机械电子系统
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何晓平
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品
相关人物
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张凤田
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微气压传感器 微热板 测试系统 惯性开关 谐振
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