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中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B040344)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：张凤田刘恒何晓平施志贵更多>>
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共 4 条 记 录，以下是 1-4
刘恒
供职机构：重庆大学
研究主题：加速度计 微机械 水含量 微加速度计 微机械电子系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何晓平
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张凤田
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微气压传感器 微热板 测试系统 惯性开关 谐振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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