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国家科技重大专项(2009ZX02014)
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王光玉
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张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
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王光玉
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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巴德纯
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
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刘坤
供职机构:辽宁科技大学
研究主题:数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
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杨乃恒
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:真空泵 抽气 分子泵 高真空 涡轮分子泵
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