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上海市科委纳米专项基金(0214nm032)
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相关作者:
杨春生
唐逸
张丛春
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唐逸
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:BST薄膜 钛酸锶钡 溅射法制备 介电性能 磁控溅射
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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张丛春
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
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马骏
供职机构:上海交通大学
研究主题:空间结构 时程模拟 流固耦合 风场 火焰燃烧
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