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国家自然科学基金(10804119)
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刘梦伟
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李俊红
李新
汪承灏
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刘梦伟
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 硅 PZT薄膜 压电传声器 声表面波器件
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薛明鑫
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:叉指电极 ZNO压电薄膜 压电薄膜 板结构 硅基
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李新
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
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李俊红
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:压电 硅 芯片 振动膜 矢量水听器
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汪承灏
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:振动膜 芯片 硅 硅微电容传声器 压电
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