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国家自然科学基金(10804119)

作品数：3 被引量：1H指数：1
相关作者：刘梦伟薛明鑫李俊红李新汪承灏更多>>
相关机构：中国科学院沈阳工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

领域

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主题

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  • 2个低噪
  • 2个低噪声

机构

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资助

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传媒

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地区

  • 4个北京市
  • 1个辽宁省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘梦伟
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：声表面波 硅 压电传声器 PZT薄膜 声表面波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛明鑫
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：叉指电极 ZNO压电薄膜 压电薄膜 板结构 硅基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李新
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题：压力传感器 集成化 压力敏感芯片 微全分析系统 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊红
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：压电 硅 芯片 振动膜 矢量水听器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪承灏
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：振动膜 芯片 硅 硅微电容传声器 压电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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