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国家自然科学基金(50325519)

作品数：2 被引量：9H指数：2
相关作者：黄庆安周再发李伟华朱真冯明更多>>
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领域

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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
黄庆安
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周再发
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯明
供职机构：东南大学
研究主题：SU-8胶 光刻模拟 深紫外 菲涅尔衍射 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱真
供职机构：东南大学
研究主题：微流控芯片 电极 微流控 读取器 谐振电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢伟
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：光刻胶 刻蚀 元胞自动机 光刻 光刻模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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