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国家自然科学基金(61106120)

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付英春
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张加勇
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：纳米尺寸 相变存储器 淀积 干法刻蚀 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐晓娜
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：存储器 充电状态 二维电子气 抗蚀剂 动态随机存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季安
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：激光 激光退火 缓冲层 脉冲激光 相变存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马慧莉
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 相变材料 淀积 纳米尺寸 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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