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国家高技术研究发展计划(2007AA3Z333)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：陈大鹏叶甜春张霞焦彬彬高杰更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国传媒大学中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

  • 5个北京市
  • 3个安徽省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伍小平
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 焦平面阵列 红外吸收
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杰
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：非制冷红外成像 焦平面阵列 光学读出 基底 FPA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张青川
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦彬彬
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 氮化硅 非制冷红外焦平面 非制冷 红外成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：红外焦平面 像元 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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