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上海市青年科技启明星计划(98QE14028)

作品数：1 被引量：8H指数：1
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林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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