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中国科学院知识创新工程重要方向项目(Y2YF028001)

作品数：7 被引量：24H指数：3
相关作者：夏洋刘邦武李超波李勇李惠琪更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所山东科技大学辽宁工业大学更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信一般工业技术更多>>

领域

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主题

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  • 12个太阳电池
  • 12个太阳能
  • 12个太阳能电池
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  • 6个等离子
  • 6个等离子体
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  • 5个电机
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  • 5个氧化锌
  • 5个液相
  • 5个原位掺杂
  • 4个电特性

机构

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资助

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传媒

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  • 4个半导体技术
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  • 4个真空科学与技...
  • 3个电子工艺技术
  • 3个激光与光电子...
  • 3个电镀与涂饰
  • 3个材料导报
  • 3个材料研究学报
  • 3个仪表技术与传...

地区

  • 9个北京市
  • 3个山东省
  • 2个辽宁省
  • 1个上海市
共 15 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇
供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题：原子层沉积 催化剂 ALD 分离膜 互连技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李惠琪
供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题：等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金 截齿 等离子炬
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何静
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：液相沉积 二氧化硅薄膜 减反射膜 液相沉积法 反射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐立丹
供职机构：辽宁工业大学材料科学与工程学院
研究主题：脉冲电磁场 钙钛矿 太阳能电池 水热法 纳米棒阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟思华
供职机构：上海交通大学
研究主题：硅太阳电池 太阳电池 硅片表面 晶体硅 金属纳米颗粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邵长金
供职机构：中国石油大学（北京）理学院
研究主题：渗透率 水平缝 染料敏化太阳能电池 多孔介质 含蜡原油
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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