兰州大学物理科学与技术学院电子材料研究所
- 作品数：10 被引量：16H指数：3
- 相关作者：武丽慧赵海廷苏玉荣刘利新韩立中更多>>
- 相关机构：运城学院物理与电子工程系中国科学院电工研究所北京工业大学应用物理系更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学电气工程化学工程更多>>
- 基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制被引量：1
- 2008年
- 首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁。测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产,同时避免了刚性脱模带来的难题。根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法。
- 白英良段辉高韩立
- 关键词：微悬臂梁PDMS
- 利用RPCVD制备高质量应变SiGe薄膜
- 硅锗作为新型微电子材料，近年来引起了人们广泛的关注与研究。以二氯硅烷(DCS)和锗烷(CeH4)为源，利用RPCVD在125mm<100>硅片衬底上制备了高质量的锗硅合金薄膜。通过高分辨透射电子显微镜、高分辨X射线衍射、...
- 陈达贾晓云高晓强刘肃张苗
- 关键词：半导体薄膜工艺参数
- 新型半导体薄膜材料的制备、结构和特性研究
- 1999年
- 主要介绍了研究所近２０ 年来在新型薄膜半导体材料的制备、结构及特性研究方面所取得的成就，尤其是对非晶硅碳和非晶硅锗（ ａ Ｓｉ Ｃ∶ Ｈ 和ａ Ｓｉ Ｇｅ∶ Ｈ）薄膜、金刚石和类金刚石薄膜、立方氮化硼（ ｃ Ｂ Ｎ）薄膜、β Ｃ３ Ｎ４ 薄膜和富勒烯薄膜的研究工作取得了重要成果，不少工作已达到国际先进水平，发表论文３００
- 陈光华
- 关键词：半导体薄膜立方氮化硼薄膜非晶硅
- 利用RPCVD制备高质量应变SIGE薄膜
- 硅锗作为新型微电子材料，近年来引起了人们广泛的关注与研究．以二氯硅烷(DCS)和锗烷(CEH4)为源，利用RPCVD在125 MM<100>硅片衬底上制备了高质量的锗硅合金薄膜．通过高分辨透射电子显微镜、高分辨X射线衍射...
- 关键词：硅锗
- 文献传递网络资源链接
- TiO2纳米管阵列的可控生长及其生长机理探讨
- 2015年
- 目的研究TiO2纳米管阵列的可控生长最佳条件及其生长机理。方法采用阳极氧化法在Ti箔上生长有序排列的TiO2纳米管阵列,用场发射扫描电镜(日立S-4800型)分析其表面与界面形貌,通过电流-时间曲线分析TiO2纳米管的生长规律。结果通过实验结果可知,纳米管的可控生长模式为阻挡层变厚并趋于稳定;而纳米管的生长机理可以理解为化学溶解与电化学刻蚀与溶解的相互竞争并达到平衡,同时纳米管的生长受电压、温度、搅拌速度的影响,阳极电压不仅控制了纳米管的生长速度,还决定着纳米管的生长模式;纳米管生长速度随温度的升高而增大,随搅拌速度的增大而减小。结论通过分析纳米管的生长过程中电流变化与表面形貌,得出了纳米管的可控生长模式和纳米管的生长规律。
- 康翠萍杜炳杨志怀谢二庆
- 关键词：纳米管阳极氧化
- 溅射气压对HfO_2薄膜结构和光学性能的影响被引量：3
- 2012年
- HfO2薄膜的结构和光学性能与反应溅射时使用的气压有很强的依赖关系。薄膜的晶粒生长取向、生长速率和折射率明显受溅射气压的影响。所有的薄膜均为单斜相,晶粒尺寸在纳米量级。薄膜的折射率在1.92～2.08范围内变化,透过率大于85%。结果表明,这些HfO2薄膜很适宜用作增透膜或者高反膜。此外,通过Tauc公式推出光学带隙在5.150～5.433eV范围内变化,表明样品是良好的绝缘体。
- 马紫微苏玉荣谢毅柱赵海廷刘利新李健谢二庆
- 电润湿的研究进展被引量：9
- 2008年
- 介绍了电润湿的研究背景以及基本理论和基于电润湿的单层结构彩色显示和三层结构彩色显示的基本原理。将电润湿显示的能耗、性能表现、色彩等与其他显示技术进行了比较,可以看到电润湿显示具有低能耗,相应时间快,色彩丰富等特点。它被认为是未来可能被广泛应用的显示技术之一。介绍了电润湿在其他方面的应用和所面对的困难与前景。
- 孙志文谢二庆韩卫华武丽慧徐显波
- 关键词：超疏水
- 纳米二氧化钛的制备及其在太阳能电池中的应用被引量：3
- 2008年
- 静电纺丝是一种简单而常用的制备纳米线的方法。为了得到具有均匀颗粒以及附着性良好的薄膜从而应用于染料敏化太阳能电池光阳极,采用在电纺丝前驱体溶液中加入乙醇胺的方法,成功制备了与衬底附着良好的TiO_2纳米晶薄膜,并制备了不同厚度的TiO_2纳米晶薄膜,详细探讨了TiO_2膜的厚度对电池各个重要参数的影响。
- 武丽慧张永哲韩立中康翠萍赵建果谢二庆
- 关键词：静电纺丝乙醇胺太阳能电池
- 弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法
- 一种弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法，它采用甲烷与氢气的混合气体为直流弧光放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的反应源气，甲烷在反应源气中的浓度控制在0.5～2.0％之间，反应中还适当增大了反应源气的流量，流量范围为2...
- 蒋翔六张仿清
- 文献传递
- 弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法
- 一种弧光放电化学气相沉积金刚石薄膜的方法，它采用甲烷与氢气的混合气体为直流弧光放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的反应源气，甲烷在反应源气中的浓度控制在0.5～2.0%之间，反应中还适当增大了反应源气的流量，流量范围为2...
- 蒋翔六张仿清
