中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 作品数：2,441 被引量：5,256H指数：29
- 相关作者：李爱珍张宏刘洪霖周祖尧钦佩更多>>
- 相关机构：中国科学院上海技术物理研究所中国科学院上海硅酸盐研究所苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）物理学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 高效干燥剂及其制备方法
- 本发明是一种高效干燥剂及其制备方法，属于干燥气体的固体吸附剂，它以膨胀珍珠岩为载体，与高氯酸镁结合并可加入金属螯合物作为显色指示剂，珍珠岩、高氯酸镁与金属螯合物的重量比为1∶1∶0.001至1∶5∶0.05，通过混合及常...
- 吴立新何焕南
- 文献传递
- 异质结晶体管用的超薄多层结构AlGaAs/GaAsMBE材料
- ＨＢＴ是微波、毫米波领域的重要关键元器件。该成果主要研究ＨＢＴ样管用的单层结构ｐ－ＧａＡｓ、ｎ－ＧａＡｓ、ｎ－ＡｌＧａＡｓ和Ｎ－Ｐ－ｎ多层结构ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ优质ＭＢＥ材料。其主要技术指标如下：①在分析ＨＢＴ关键参...
- 关键词：
- 关键词：元器件晶体管
- 双层金属布线硅栅CMOS门阵列电路制造工艺技术研究
- 1993年
- 采用双层金属布线可以提高集成电路的集成密度、集成度和速度。本文报道了双层金属布线工艺技术成功地应用于制造标准3μm硅栅CMOS 500门、1200门、2000门多种门阵列专用大规模集成电路。本文对双层金属布线硅栅CMOS门阵列电路制造工艺技术的几个关键技术问题进行讨论。
- 郑养鉥张敏凌栋忠吴璘顾惠芬郑庆云邱斌
- 关键词：集成电路多层布线CMOS电路
- 用无机盐制备非载体Al_2O_3薄膜的溶胶－凝胶法研究被引量：4
- 1996年
- 结晶三氯化铝经溶解、水解、胶溶制备了Ｂｏｅｈｍｉｔｅ（γ－ＡｌＯＯＨ）溶胶，然后在石英玻璃上制备出表面光滑、平整、颗粒大小均匀的γ－Ａｌ２Ｏ３薄膜。ＤＴＡ分析表明：Ｂｏｅｈｍｉｔｅ凝胶膜在２５８．７℃开始失水而转化为γ－Ａｌ２Ｏ３薄膜。
- 曾文明詹千宝陈念贻
- 关键词：无机盐溶胶-凝胶法三氧化二铝
- 大片段脱氧核糖核酸芯片及其制造方法
- 一种大片段DNA芯片及其制造方法，其制作步骤主要是先对基底作硅烷化处理，再行生物素处理、和对基底上的生物素接抗生物素蛋白，并将某个生物体基因组的大片段DNA末端也接上生物素，采用喷墨法或定位点滴法将不同DNA片段有序地集...
- 李民乾胡钧欧阳振乾张益徐元森郑养鉥赵建龙陈海宝
- 文献传递
- 晶体硅中氢钝化硼的机理被引量：1
- 1989年
- 利用量子化学近似计算方法MNDO和红外光谱法研究了晶体硅中氢和硼的相互作用.结果表明,原子氢束缚在离代位硼原子约1.25A的球面能谷中,可绕硼转动,形成一个动态的硼-氢复合体,从而钝化硼.B-H对的动态性质导致对应的1875cm^(-1)红外吸收峰的宽化,这种状态可保持到10K.
- 施天生钟钦
- 关键词：硼红外光谱
- Zn铁氧体纳米晶的磁性及微结构研究被引量：16
- 2000年
- 通过高能球磨方法由α-Fe2O3+ZnO混合粉体制得的Zn铁氧体纳米晶具有非正型分布的尖晶石结构,表现为亚铁磁性,其比饱和磁化强度σs=16.4emu/g。通过适当的热处理可以使Zn铁氧体的结构向正型分布转变;使其磁性向顺磁性转变。
- 姜继森高濂杨燮龙郭景坤J.Z.Jiang沈鸿烈
- 关键词：ZN铁氧体纳米晶高能球磨磁性微结构
- 稀土系AB_5型贮氢合金电极中氢扩散行为的电化学研究被引量：18
- 2003年
- 分别用恒电位阶跃法、恒电流放电法和电化学阻抗法研究了不同荷电状态和不同温度下MlNi3.75Co0.65Mn0.4Al0.2贮氢合金电极中氢的扩散系数,并对各种方法的测试结果及其在实际应用中的优缺点进行了比较和讨论。测试结果表明,室温下MlNi3.75Co0.65Mn0.4Al0.2贮氢合金电极中氢的扩散系数随其荷电量的增大而减小;同一荷电状态的Ml-Ni3.75Co0.65Mn0.4Al0.2贮氢合金电极中氢的扩散系数随温度的升高而增大;该电极中氢扩散的活化能为17.9kJ/mol～19.8kJ/mol。
- 原鲜霞徐乃欣等
- 关键词：氢
- 用离子束技术改善Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的耐蚀性能被引量：2
- 1992年
- 用多次扫描循环极化法研究经离子束表面改性的Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的腐蚀行为。电化学测试和表面形貌的观察结果表明,离子注入、离子束混合和离子束辅助沉积技术对减缓Ni_3Al(0.1B)在用氧气饱和的1N H_2SO_4溶液中的腐蚀和改善钝化性能很有效果。
- 柳襄怀郑志宏黄巍林梓鑫邹世昌
- 关键词：NI3AL硫酸溶液耐蚀性
- 多功能集成微腔阵列生物传感器
- 本实用新型是一种多功能集成微腔阵列生物传感器。主要由绝缘衬底、绝缘衬底上的铂微工作电极阵列、银/氯化银微参比电极、与绝缘衬底联成一体的硅锥形微腔阵列以及填充在各微腔内的不同酶膜构成。使用本实用新型多功能集成微腔阵列生物传...
- 朱建中
- 文献传递
