中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
- 作品数：66 被引量：324H指数：8
- 相关作者：韩明张健毛敏耀邹强金虎更多>>
- 相关机构：复旦大学信息科学与工程学院复旦大学信息科学与工程学院电子工程系上海交通大学物理与天文学院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 叠加能量Si^+、N^+共注入SiO_2薄膜的光致发光
- 1998年
- 报道了用叠加能量Ｓｉ＋、Ｎ＋共注入ＳｉＯ２薄膜研究硅基发光材料。Ｓｉ＋、Ｎ＋先后注入ＳｉＯ２薄膜，并在衬底中重叠。样品退火后在紫外光激发下，可以观察到很强的紫外（～３４０ｎｍ）和紫色（～４２７ｎｍ）光致发光（ＰＬ）。还研究了光致发光激发（ＰＬＥ）谱并对发光机制进行了探讨。
- 赵俊杨根庆丁星肇林梓鑫江炳尧江炳尧柳襄怀
- 关键词：光致发光离子注入硅基发光材料
- 低量程高线性压阻式微机械加速度传感器被引量：4
- 2001年
- 介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )， 线性度优于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
- 金虎陆德仁沈绍群鲍敏杭
- 关键词：加速度传感器压阻式微机械
- 我国首台双能X射线骨密度仪中的图像获取与处理系统被引量：2
- 1999年
- 本文首先介绍我国首台双能Ｘ射线骨密度仪的总体结构，然后着重介绍其基于ＤＳＰ多微处理机结构的Ｘ射线图像数据获取与处理系统，实践证明该多微处理机系统是成功的．
- 刘海涛马成兴朱俊杰陈羽
- 关键词：DEXADSP
- 航天单粒子事件故障注入系统研究被引量：8
- 2002年
- 本文介绍了一种基于内存故障注入和总线故障注入相结合的单粒子事件故障注入系统．首先介绍了故障注入系统的功能及框架，然后以通用性和可扩展性为前提，对实现故障注入器的关键技术进行了探讨．测试结果表明。利用本文介绍的故障注入系统，具有成本低、通用性强、故障注入方便快捷、全动态实时和定量注入等特点．
- 李华旺刘海涛杨根庆
- 关键词：故障注入系统容错航天
- 微型压电超声马达定子表面振动特性分析被引量：2
- 1998年
- 微型压电超声马达定子表面的振动幅度是难以检测的动态微小量。定子振动状态将直接关系到压电马达的实现与否。首次分析了采用均分电极结构的微型压电超声行波马达的定子表面的振动振幅。通过对影响定子振幅相关因素的分析，表明要获得最佳的表面振动效果，压电薄膜与弹性体的厚度必须相匹配。
- 张健沈德新卢建国王渭源
- 关键词：压电超声马达定子
- 光调制红外热像仪的设计与有限元模拟被引量：1
- 2000年
- 新型热像仪是一种基于微机械技术的光调制热成像系统 ,它采用光调制原理来实现像转换和像增强 ,其核心是一个采用与互补型金属氧化物半导体工艺相容的微机械技术制作的光调制热成像器件。该系统具有一系列潜在的优点 :灵敏度和分辨率高、体积和能耗小、响应时间短并可在室温下工作。叙述了器件的设计和建模 ,通过一种简化的悬臂梁理论计算了其灵敏度、最小可探测能量及响应时间等参数 ,并对双材料梁的设计进行了优化。采用 ANSYS 5.4程序对设计的器件进行了有限元模拟 ,得到的灵敏度和响应时间分别为 0 .0 3m/ W和 6ms。
- 张流强杨根庆
- 关键词：热像仪红外传感有限元模拟
- 一种制作硅垂直光亮微镜面的方法
- 介绍了一种利用KOH溶液对硅的各向异性腐蚀原理,并结合抛光技术制作垂直的<100>光学微镜面的方法.制成的微镜高度300μm,厚度3.3μm,宽度容易控制.初步测试对1.55μm波长光源插入损耗接近1dB.
- 向民李铁王跃林
- 关键词：各向异性腐蚀抛光光开关
- 文献传递
- 低量程电容式力平衡加速度传感器
- 微机械电容式加速度传感器适合于在低量程发挥优越性。本文介绍一种三明治结构电容式加速度传感器和接口电路(加速度计)的工作原理、结构设计、接口电路框图、静电力和工作模式,作者提出了适合于特低量程的浅反馈或开环工作模式和采用具...
- 陆德仁李宝清邹强尤绍麟
- 关键词：微机械加速度计电容式传感器分度头电路框图
- 文献传递
- XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
- 2005年
- 研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究。在自截止腐蚀 工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工艺,获得刻蚀深度为1.0μm左右,网格尺寸为25μm×25 μm,或条状线宽为5μm的Si刻蚀膜;测量了Si刻蚀膜的形貌和刻蚀深度;研究了离子束刻蚀参数对图形形貌 的影响。并介绍采用两种靶型获得的像传递函数信息。
- 周斌孙骐韩明熊斌吴广明黄耀东沈军
- 关键词：离子束刻蚀
- 微机械加速度传感器性能的等效电学模拟被引量：8
- 2002年
- 建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加速度信号时的小电容检测电路的性能。模拟结果表明采用反馈可以拓宽加速度传感器的测量范围 。
- 车录锋熊斌王跃林
- 关键词：微机械加速度传感器等效电路模型
