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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

作品数：66 被引量：324H指数：8
相关作者：韩明张健毛敏耀邹强金虎更多>>
相关机构：复旦大学信息科学与工程学院复旦大学信息科学与工程学院电子工程系上海交通大学物理与天文学院更多>>
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  • 14个上海市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
韩明
作品数：8被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：离子束刻蚀 伺服 硅 微机械器件 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张健
作品数：6被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：定子 特性分析 压电超声马达 薄型 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛敏耀
作品数：5被引量：16H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 MPCVD 光学窗口 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹强
作品数：3被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：微机械 电容式 加速度传感器 对称体 电容式加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金虎
作品数：3被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：压阻式 高线性 加速度传感器 微机械 微机械加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨俊杰
作品数：3被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：人工神经网络 微电机 ASO 闭塞性 下肢
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
向民
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：硅 光开关 各向异性腐蚀 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗志宏
作品数：1被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：遗传算法 超大规模集成电路 模拟退火算法 最小化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林爱民
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁纯
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：叉指电极 静电驱动 驱动电压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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