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大连理工大学微系统研究中心

作品数：20 被引量：58H指数：4
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发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程电子电信更多>>

相关机构

文献类型

  • 12篇会议论文
  • 8篇期刊文章

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 3篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 3篇电气工程
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 7篇MEMS
  • 4篇微流控
  • 4篇微流控芯片
  • 4篇传感器
  • 3篇微流体
  • 3篇粒子图像测速
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 2篇电池
  • 2篇电极
  • 2篇电阻
  • 2篇压电
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇质子交换
  • 2篇质子交换膜
  • 2篇质子交换膜燃...
  • 2篇质子交换膜燃...
  • 2篇燃料电池
  • 2篇微型质子交换...
  • 2篇流场板

机构

  • 20篇大连理工大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 5篇刘冲
  • 4篇王立鼎
  • 2篇黎永前
  • 2篇王晓东
  • 1篇姚广军
  • 1篇张海军
  • 1篇朴相镐
  • 1篇段仁庆
  • 1篇马骊群
  • 1篇褚金奎
  • 1篇梁军生
  • 1篇温敏
  • 1篇罗怡
  • 1篇金仁成
  • 1篇高腾
  • 1篇杜小振
  • 1篇胡熠东
  • 1篇秦纪云
  • 1篇徐征

传媒

  • 3篇中国机械工程
  • 2篇光学精密工程
  • 2篇中国微米、纳...
  • 2篇第一届国际微...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇大连理工大学...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 3篇2010
  • 2篇2006
  • 7篇2005
  • 5篇2004
  • 2篇2003
  • 1篇2002
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
中国MEMS的研究与开发进程(简稿)
微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化...
王立鼎
集成浓度梯度发生器的多层微流控细胞培养芯片的设计与制作
设计了一种集成浓度梯度发生器和细胞培养阵列的多层微流控芯片，利用厚胶光刻工艺和干法刻蚀工艺分别制作了SU-8胶模具和硅模具，浇注PDMS制得芯片。利用制作的芯片进行A549肺腺癌细胞的培养，该细胞可很好地贴壁生长，为研究...
丁喜平刘冲徐征李经民王蕾
关键词：微流控芯片抗癌药物
基于MEMS技术的微型质子交换膜燃料电池被引量：2
2005年
介绍了微型质子交换膜燃料电池的基本工作原理.依据当前微型燃料电池的发展现状,重点探讨基于MEMS工艺的微型燃料电池微流场板、膜电极集合体等基本构件制造过程,提出了其中的关键技术和瓶颈问题.分析了微型质子交换膜燃料电池的微组装和系统集成技术,针对其中存在的问题,提出相关研究方向和解决方案.结合实例,对微型质子交换膜燃料电池的应用领域和应用形式进行了总结和展望.
梁军生刘冲王立鼎
关键词：MEMS质子交换膜燃料电池流场板膜电极
一种适用于无线多媒体传感器网络的节点不相交多路径路由协议被引量：7
2010年
设计了一种适用于无线多媒体传感器网络的高效节点不相交多路径路由协议。以源路由的方式建立多路径,中间节点通过有选择的转发RREQs,降低路由建立开销。将链路质量量化为数据接收率,利用数据接收率、节点能量及路径跳数等,定义了路径效率模型,将路径效率模型引入到路由建立过程中。仿真结果表明,与SMR及TinyONDMR协议相比,新协议建立路由的开销更低,所建路径上节点能量分布更理想,进行数据传输时的能量效率更高,同时不会显著增加路径的传输时延。
金仁成秦纪云高腾王立鼎胡熠东
关键词：无线多媒体传感器网络多路径路由
电动微流体显微粒子图像测速误差修正方法被引量：1
2006年
在电动微流体粒子图像测速技术中,示踪粒子的电泳运动是影响测量不确定度的主要因素之一.采用电流方法和粒子图像跟踪技术相结合,测量流体的平均电渗淌度和示踪粒子运动淌度,计算粒子的电泳淌度,据此对显微粒子图像测速结果进行修正.实验测量了直径为520 nm的聚苯乙烯示踪粒子在20 mm o l/L硼砂缓冲液中的电泳淌度,对水力直径小于20μm的锥形微管道M icro-P IV测量流场进行了修正.实验结果表明,修正后的流场速度与数值计算结果一致,该方法可以较好地消除示踪粒子电泳运动对M icro-P IV测量结果的影响.
黎永前徐征刘冲王立鼎
硅基PZT压电薄膜微力传感器的测试和优化
采用MEMS体硅加工工艺制作了三种不同尺寸的硅基PZT压电薄膜微悬臂梁式结构。这种结构被用来作为测量毫克级微小力的微力传感器。PZT压电薄膜在基体Pt/Ti/SiO_2/Si<100>上用溶胶--凝胶(Sol-Gel)方...
孟汉柏崔岩
关键词：MEMSPZT薄膜微力传感器
文献传递
Cr金属薄膜温度传感器的研究
采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。
闫卫平朱剑波马灵芝郭吉洪
关键词：温度传感器电阻温度系数
文献传递
中国MEMS的研究与开发进程被引量：38
2003年
微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystems)是 80年代发展起来的新兴交叉学科 ,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化 ,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义 ,13年来中国MEMS研发的总体概况 。
王立鼎罗怡
关键词：MEMS微机电系统微型化集成化
采用脉冲法实现对位移和压力的高精度控制
2004年
介绍一种在非线性摩擦影响下,用脉冲对位移和压力精确控制的方法.该方法为两级控制,当离目标值较远时,采用传统的PID控制;当接近目标值时,采用矩形脉冲控制,使设备产生微小运动,实现对位移和压力的精确控制.脉冲的形状由理想位移、压力和转矩脉冲模型通过采用模糊逻辑的方式确定.在大连理工大学微系统研究中心开发的塑料微流控芯片微通道热压成形机(电机驱动)上,对于不同的矩形脉冲产生的位移、压力等进行实验研究,建立了脉冲形状与位移、脉冲形状与压力关系的模型.
姚广军王晓东刘冲
关键词：脉冲压力控制
基于微型悬臂梁的发电机制探索
微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展。在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置。借助微型硅悬臂梁质量...
杜小振褚金奎朴相镐张海军
关键词：压电陶瓷MEMS
文献传递
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