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中国科学院微电子研究所
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刘明
作品数:1,341
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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朱慧珑
作品数:1,170
被引量:1
H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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陈岚
作品数:876
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
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刘新宇
作品数:846
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H指数:7
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN 衬底
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叶甜春
作品数:817
被引量:643
H指数:10
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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殷华湘
作品数:690
被引量:16
H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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陈大鹏
作品数:666
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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韩郑生
作品数:626
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 反相器
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尹海洲
作品数:522
被引量:2
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 鳍片 栅极
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张海英
作品数:517
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:频率综合器 单片集成 脉搏波 功率放大器 GAAS
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