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山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
作品数:
29
被引量:87
H指数:7
相关作者:
姚作宾
郝惠娟
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相关机构:
泰山学院物理与电子工程学院
北京信息科技大学理学院
中国石油大学(华东)计算机与通信工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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山东省科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
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合作机构
泰山学院物理与电子工程学院
北京信息科技大学理学院
中国石油大学(华东)计算机与通...
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姚作宾
作品数:13
被引量:9
H指数:2
供职机构:山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
研究主题:电阻器 电子束曝光机 热管 采样 热敏元件
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郝惠娟
作品数:3
被引量:3
H指数:1
供职机构:山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
研究主题:电子束光刻 母板 PMMA 辐射降解 聚甲基丙烯酸甲酯
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