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沈阳芯源微电子设备有限公司
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谷德君
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
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卢继奎
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 半导体行业 湿法处理 承片台 供液
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王绍勇
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
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王阳
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:涂胶 光刻胶 半导体生产 晶圆 喷嘴
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王冲
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:光刻胶 晶片 半导体行业 光刻工艺 工艺过程
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魏猛
作品数:23
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体晶片 涂胶 显影 晶片 晶圆
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张怀东
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 芯片制造 喷嘴 均匀性 显影
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程虎
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:基板 处理系统 半导体 大尺寸 流体
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王丽鹤
作品数:18
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶圆 密封 顶针 废液 均布
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郑春海
作品数:18
被引量:1
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供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
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