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孙伟金
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
沈健
中国科学院上海光学精密机械研究...
邵建达
中国科学院上海光学精密机械研究...
董磊
中国科学院上海光学精密机械研究...
易葵
中国科学院上海光学精密机械研究...
田光磊
中国科学院上海光学精密机械研究...
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作者
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孙伟金
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田光磊
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易葵
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董磊
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邵建达
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沈健
年份
1篇
2007
1篇
2005
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真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置
一种真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置,其构成是:在采用多个膜料蒸发源和对应的多块修正挡板的真空镀膜机中,对每一膜料蒸发源的每一块修正挡板设置一个伞式机械装置,该伞式机械装置包括在靠近膜料蒸发源真空室底板上竖直地安装一修...
董磊
田光磊
马小凤
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邵建达
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孙伟金
沈健
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真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置
一种真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置,其构成是:在采用多个膜料蒸发源和对应的多块修正挡板的真空镀膜机中,对每一膜料蒸发源的每一块修正挡板设置一个伞式机械装置,该伞式机械装置包括在靠近膜料蒸发源真空室底板上竖直地安装一修...
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