孙明睿
- 作品数：12 被引量：48H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 光带法激光三维人体扫描系统研究被引量：19
- 2003年
- 研制了光带法激光三维人体扫描系统,以4个半导体激光线光源在人体表面形成一个环带,通过位于线光源两侧的8个面阵CCD摄像头接收光带像,在四轴伺服同步扫描系统和计算机网络采集系统的支持下,自上而下地实现了人体外形轮廓的自动扫描。并采用图像处理方法和针孔相机透视变换模型,通过数据处理与数据拼接,成功得到了人体的三维轮廓的点云图数据。
- 葛宝臻孙明睿吕且妮牟冰孙宇臣张以谟
- PCB AOI中自动调焦及调整倍率的设计与实现
- 2010年
- 介绍了PCB自动光学检测系统中的自动调焦和调整倍率的方法。该方法在无法精确测量物像距的情况下,根据获取标准测量目标的图像信息,通过分析计算,自动调整成像系统的物像距,获得清晰的图像及要求的倍率。通过在设备上的运行,此方法调焦精准,调出的倍率符合要求,自动化程度很高,能够满足整机系统的要求。
- 付纯鹤魏祥英孙明睿宋丽娟
- 关键词：自动调焦倍率图像处理自动光学检测
- 一个成像镜头匹配双CCD的光路设计被引量：6
- 2008年
- 介绍了一个用于自动光学检测方面的光路设计,用一个成像镜头及光源照明系统匹配2个CCD,用于设备的图像采集和观察分析,并分析了光路系统中需要考虑的一些问题及解决办法。该设计可以有效地简化设备结构,并有效地节约设备的总体成本。
- 孙明睿李雪
- 关键词：AOI光通量镜头分辨率
- 一种激光直写式光刻光路系统
- 2015年
- 针对曲面栅网器件的光刻工艺,提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统,该系统将紫外激光器的光束经过整形扩束、动态z向调焦、x/y振镜、聚焦等单元使器件上相应位置涂覆的光刻胶直接感光,再经过显影、刻蚀等工艺直接制作出相应器件。它可以应用到一些精度要求不太高的平面或非平面器件的光刻加工工艺,取代传统的使用掩模版的光刻工艺或其它的加工工艺。
- 孙明睿甄万财
- 关键词：光刻
- 浅谈曲面直写式光刻工艺
- 2015年
- 针对一些曲面栅网器件的加工工艺,从实验装置、光刻原理、光刻工艺及参数要求等方面进行了分析,为后续深入开展曲面直写式光刻工艺打下了基础。
- 甄万财孙明睿
- 关键词：半导体设备曲面光刻
- 照明光源在AOI中的重要性及设计要素分析被引量：7
- 2009年
- 对用于PCB的自动光学检测设备的光源部分的设计要素进行了叙述,从照明的颜色、强度及角度等各方面进行了分析,使其在各种产品的光学检测的光源设计中都具有一定的意义。
- 孙明睿李雪
- 关键词：AOIPCB照明光源
- 光刻机光强影响因素分析被引量：1
- 2017年
- 曝光系统是接触接近式光刻机的核心部件,系统的曝光强度对光刻工艺有很大的影响。通过对曝光光路系统进行详细分析,对影响光强的各种因素进行了论述和计算,为进一步改善曝光系统光强指明了方向。
- 孙明睿李雪甄万财
- 关键词：光刻机
- 三维数字可视化技术的研究
- 计算机三维数字可视化技术是随着计算机技术的发展和计算机应用技术水平的不断提高而出现的一个比较新的研究领域,它主要研究三维图形、图像的计算机表示、处理、造型及图形、图像的生成算法等,它不但提高了信息的处理速度和质量,还导引...
- 孙明睿
- 关键词：可视化激光扫描系统三维重建轮廓线
- 文献传递
- AOI设备在PCB和SMT主要生产环节中的应用
- 2012年
- 总结了用在PCB和SMT主要生产环节的AOI设备,分析了几种AOI的结构及相关技术要素,以及AOI设备的发展前景。
- 孙明睿
- 关键词：图像处理
- 测量不确定度在工作中的重要性及分析应用被引量：1
- 2017年
- 对半导体装备领域零部件加工装配的测量器具进行具体分析,分析量具的测量不确定度以及它对半导体设备零部件及装配的重要影响,以半导体设备中应用最广泛的角度类量具检定装置为例,进行测量不确定度和校准能力的分析。
- 李雪孙明睿杨宽巨莎娜宋秀敏
- 关键词：测量不确定度直角尺校准测量能力
