徐晨
- 作品数：216 被引量：219H指数：7
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 激光在MEMS键合技术中的应用被引量：3
- 2004年
- 键合技术已经广泛地应用于微电子机械系统(MEMS)领域,但传统的键合技术由于其缺点,限制了其应用范围,而激光以其独特的优势在键合技术中得到了人们的重视。文章介绍了激光在键合技术中的应用及其原理,以及今后发展的方向。
- 杨道虹董典红徐晨张剑铭阳启明沈光地
- 关键词：微电子机械系统硅直接键合激光
- 一种新颖的低温硅片直接键合技术
- 提出一种使用CF4等离子体激活处理硅片表面来降低退火温度的低温硅片直接键合新方法。硅片用CF4等离子体激活处理,经过亲水处理预键合后,再在N2保护下进行40h 300℃的热处理,硅片的键合强度达到了体硅本身的强度。
- 徐晨霍文晓杨道虹赵慧赵林林沈光地
- 关键词：等离子体
- 文献传递
- 一种原位大面积制备图形化石墨烯的工艺方法
- 本发明公开了一种原位大面积制备图形化石墨烯的工艺方法，首先在金属箔背面以及衬底表面分别制备金属箔接触层和衬底接触层，使用压合机将金属箔和衬底的接触层在一定的温度和压力条件下进行压合。压合后的金属箔的衬底被置于多温区独立调...
- 马啸尘杨芳伟徐晨钱峰松胡良臣
- 织构复合透明导电膜的研究
- 1990年
- 本文报道了一种制备ITO/SnO复合绒面透明导电膜的技术,并对膜的性能和工艺关系进行了分析。利用该技术制备的膜,其性能达到日本同类产品的水平。该工艺设备简单,原料成本低,易于推广使用。
- 徐晨刘嘉王雁张治国
- 关键词：非晶硅太阳电池
- Si/Ti/Au/Si键合技术研究及其应用被引量：9
- 2004年
- 运用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si在N2保护下及420℃左右,成功地实现了Au/Si共熔键合,成品率达到90%以上。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于Si/Si熔融键合过程中高温退火给微电子机械系统(MEMS)器件带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础,是此类结构MEMS器件的理想键合封装方法。
- 杨道虹徐晨李兰吴苗沈光地
- 关键词：微电子机械系统高温退火
- 一种半导体激光器腔面钝化的方法
- 本发明属于半导体激光器领域。包括以下步骤：半导体激光器在空气中解理成条后装入夹具后放入电子束蒸发真空室；离子预清洗，即在电子束蒸发的真空室中用能量小于100eV的低能大束流离子无损除去在空气中解理的腔面上的氧化物和杂质及...
- 徐晨沈光地舒雄文田增霞陈建新高国
- 文献传递
- 一种优化光子晶体面发射激光器方法
- 一种优化光子晶体面发射激光器方法属于半导体光电子技术领域。所述方法在氧化限制型面发射激光器和二维光子晶体横向耦合基础的上将氧化孔径与光子晶体缺陷孔径纵向匹配耦合。通过优化氧化孔径和光子晶体缺陷孔径的关系，制备氧化孔径比光...
- 徐晨解意洋朱彦旭邓军毛明明魏思民曹田阚强王春霞陈弘达
- 文献传递
- 一种带有DBR光栅结构的852nm窄线宽边发射激光器及其制备方法
- 一种带有DBR光栅结构的852nm窄线宽边发射激光器及其制备方法，属于半导体光电子技术领域。因为边发射激光器谐振腔长度的原因，其不容易直接实现单纵模输出，所以本发明要改进边发射激光器激射激光的单纵模窄线宽特性。通过电子束...
- 关宝璐刘储李建军江孝伟潘冠中李鹏涛刘振扬杨嘉炜徐晨
- 文献传递
- 新型AlGaInP系发光二极管饱和特性与寿命的研究被引量：3
- 2014年
- 针对AlGaInP系发光二极管(LED)电极阻挡出光、衬底吸收、全反射角小导致器件出光效率低、热积累大、饱和特性差等问题,提出了一种具有复合电流输运增透窗口层、复合DBR反射镜和电流阻挡层结构的新型LED,并测试了其饱和特性和寿命.电流分布模拟显示:新型LED电极下仅存在极小的无效电流;实验结果表明新型LED出光效率高,饱和电流大,饱和电流时光强约为常规LED的3倍,光电性能明显提升.器件饱和特性和老化实验研究显示:新型LED寿命长达17.8×104h,器件内部发热量低,具有高饱和特性和高可靠性,适合在大电流大功率下工作.
- 马莉沈光地陈依新蒋文静郭伟玲徐晨高志远
- 键合技术在微机械Golay-cell红外探测器中的应用被引量：2
- 2006年
- 介绍多种硅片键合技术及其在基于高莱盒(Golay-cell)原理的微机械红外探测器中的应用。对多种键合方法在该器件中的实验结果进行比较,确定了现阶段最优的键合方法,即采用局部电场屏蔽方法的阳极键合方法,键合成功率在90%以上,并初步实现了器件的标准化制作。
- 赵林林徐晨赵慧霍文晓沈光地
- 关键词：微电子机械系统红外探测器键合
