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杨中兴

作品数:3 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院物理研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇快门
  • 1篇挡板
  • 1篇真空
  • 1篇手动阀
  • 1篇装拆
  • 1篇外部设备
  • 1篇相平衡
  • 1篇量具
  • 1篇法兰
  • 1篇法兰盘
  • 1篇分子束
  • 1篇分子束外延
  • 1篇改装
  • 1篇传动
  • 1篇传动件
  • 1篇磁环
  • 1篇磁力
  • 1篇磁力耦合

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇杨中兴
  • 3篇刘双
  • 2篇黄绮
  • 2篇周均铭

传媒

  • 1篇半导体情报

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1992
  • 1篇1991
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
一种采用正弦驱动的软动作快门
本实用新型涉及一种采用正弦驱动的软动作快门,通过传动件及滚珠轴向轴承与安装在导轨上的滑块传递动力,滑块内装有外磁环组;内磁环组固定在装有润滑轴向轴承的内磁环支架上,内磁环支架与装有润滑轴向轴承的轴承座相配,固定杆穿过润滑...
刘双杨中兴黄绮周均铭袁樊森
文献传递
一种三室结构的真空液态源
本实用新型涉及一种“三室结构”的真空液态源,其特征在于:它包括注入口、外室、手动阀、标准室、内室、加热筒、加热块、密封圈、异形过渡件。本装置能将空气与真空有效隔离,标准室同时起到了量具和加速冷却的作用。内室能提供一个有效...
刘双杨中兴黄绮周均铭
文献传递
软动作快门设计与应用
1991年
本文介绍了电机拖动,光电控制的软动作快门的设计及使用的基本情况。该装置挡板位移55mm所用时间仪为0.1s,经过一万次左右的开关试验,其性能稳定,实现了无撞击运动。该装置有助于提高外延材料的界面质量,而且更加适应MEE的生长模式。
刘双杨中兴黄绮周均铭
关键词:分子束外延快门改装
共1页<1>
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