杨建中
- 作品数:27 被引量:26H指数:2
- 供职机构:清华大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>
- 半导体材料微体缺陷激光扫描分析技术被引量:1
- 2001年
- 半导体材料内部的一致性是实现微器件功能的重要保证。为实现半导体材料微体缺陷的无损、高效、和准确检测 ,在研究广义 L orenz- Mie理论的基础上 ,通过将散射光分布分析引入到检测当中 ,提出了对近红外激光散射信号探测和缺陷大小特征的判据 ,来检测半导体材料缺陷的方法。介绍了检测的基本原理和理论模型 ,以及基于这一构想的全自动检测系统的实现方法 ,并提出了微缺陷检测的判据。对一组 Ga As样品进行了实验研究 。
- 尤政李颖鹏杨建中陈非凡于世洁
- 关键词:半导体材料微体缺陷散射光强分布
- MEMS水平谐振式磁强计的建模与仿真被引量:1
- 2009年
- 设计了一种基于洛仑兹力原理的水平谐振式磁强计。该磁强计利用了通电导线感应磁场强度并转化为电容值的方法进行检测,具有较高的灵敏度,结构相对简单,加工难度较小。建立了敏感元件的力学模型,推导了系统刚度、挠度、谐振频率和敏感度公式,并进行了有限元仿真,仿真结果与理论计算的挠度和谐振频率相吻合,验证了该方案的可行性和理论模型的合理性。
- 胡穆之尤政杨建中张弛
- 关键词:磁强计谐振微机电系统仿真
- 微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法
- 本发明提出一种微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法,包括:激励信号源;基座;三轴微动平台,与基座固定相连,用于对微机电系统MEMS磁通门磁强计的位置进行调整;芯片固定装置,用于固定微机电系统MEMS磁通门磁...
- 杨建中刘幂尤政李滨阮勇
- 文献传递
- 减缓小半径铁路轮轨磨耗与疲劳伤损试验研究
- 杨建中
- 关键词:铁路轮轨磨耗润滑
- 应用于单边核磁共振仪器磁体结构的Halbach磁体仿真分析被引量:2
- 2016年
- 利用直线型Halbach磁体结构作为单边核磁共振仪器的主磁体,用于产生单边主磁场B0。通过对Halbach结构的永磁体与普通排列永磁体磁场仿真对比,证明其产生更加均匀磁场,强磁场一侧能达到普通阵列磁场场强的2^(1/2)倍,由此确定了方案的可行性。选用九块完全相同体积为(2×2×8)cm^3,Br=1.28 T的汝铁硼磁块进行Halbach阵列,对主磁体进行建模,通过COMSOL Multiphysics仿真。在磁体外侧圈定了(10×10×10)mm^3范围的均匀磁场区域,垂直方向呈恒定梯度场,梯度值8 T/m,该区域适合作为产生核磁共振的主磁场B0。
- 孙新凯杨建中杨义勇
- 关键词:HALBACH磁体永磁体均匀磁场
- 微惯性测量装置
- 本发明公开了一种微惯性测量装置,包括:壳体;顶盖,所述顶盖设在所述壳体的顶端且与所述壳体限定出腔室;主电路板,所述主电路板设在所述腔室内;微惯性测量组合,所述微惯性测量组合设在所述腔室内并与所述主电路板相连,所述微惯性测...
- 李滨马林邢飞杨建中尤政段世忠杨业白太勋张其滨黄耀
- 文献传递
- 磁芯线圈及其制备方法
- 本发明涉及一种磁芯线圈的制备方法,包括如下步骤:1)制备底层导线;2)制备第一铜立柱层和第一绝缘层,其中第一绝缘层由第一光刻胶直接固化形成;3)制备磁芯导电层;4)制备第二铜立柱层、第二绝缘层、磁芯;5)制备第三铜立柱层...
- 阮勇尤政杨建中盛文海
- 文献传递
- 谐振式隧穿磁强计的理论研究被引量:2
- 2003年
- 分析了隧道扫描显微镜和隧穿磁强计的区别 ,认为隧穿磁强计的隧尖不需要也不应该过尖。研究了隧道间隙和隧道电流的关系。研究表明 ,虽然按照隧道效应理论 ,隧道间隙和隧道电流应该成指数关系 ,但对隧穿磁强计而言 ,其隧道电流和隧道间隙的关系可以近似看作线性关系。
- 汤学华尤政杨建中
- 关键词:灵敏度MEMS技术
- 激光谐振耦合无线能量传输装置及方法
- 本发明公开了属于无线能量传输技术领域的激光谐振耦合无线能量传输装置及方法。它由发射组件和接收组件构成,或者由第1-N发射装置和接收装置构成;激光束在发射端和接收端之间谐振,在空间上将激光束约束在发射端与接收端之间,同时振...
- 尤政李滨杨建中王巍黄虎
- MEMS水平谐振式磁强计
- 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种MEMS水平谐振式磁强计。技术方案是,MEMS水平谐振式磁强计的表头芯片由硅片和玻璃基底组成,硅片通过硅-玻璃阳极键合方式制作在玻璃基底表面;硅片由可动结构和固定结构组成,可动结构包...
- 尤政胡穆之杨建中
- 文献传递