阮勇
- 作品数：118 被引量：77H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- CPT原子钟的光学系统、CPT原子钟
- 本申请涉及一种CPT原子钟的光学系统、CPT原子钟。光学系统包括：激光器、光学镜组、气室隔热组件、原子气室、光学探测器和机架，激光器、光学镜组、气室隔热组件、原子气室和光学探测器依次设置在机架上；原子气室内嵌于气室隔热组...
- 阮勇蒋国强
- 一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法
- 本发明公开了一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法，包括：S1、形成微机电系统桥膜结构载荷位移曲线，通过所述载荷位移曲线得出实测弹性系数；形成无残余应力载荷位移曲线，通过所述无残余应力的载荷位移曲线得出无残余应力模拟弹...
- 阮勇刘倚瑞马波尤政
- 文献传递
- 硅基叉指式电容加速度计标准化工艺制造
- 叉指式电容加速度计是一种实用化的MEMS惯性器件,其快速发展更是受到近几年的实际需求的牵动。在MEMS加速度和陀螺等惯性器件的研制过程中,其加工方法以硅基为例主要分为体硅（Bulk Silicon）和表面硅（Surfac...
- 阮勇张大成
- 关键词：MEMSICP
- 文献传递
- 先进纳型卫星设计制造及应用
- 尤政邢飞张高飞赵开春周斌陶晋任大海王晓峰赵嘉昊王健李滨孟子阳阮勇吕建华
- 1.研究目的：纳型卫星具有功能密度高、研制周期短、应用灵活和多星组网等特点，在遥感、监测和空间攻防等领域发挥着不可或缺的作用，成为各国竞争的战略高地。但纳型卫星现有的设计制造方式、微型化器件研制和商业化器件应用等无法满足...
- 关键词：
- 关键词：纳型卫星储能器
- 微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用被引量：5
- 2005年
- 研制微力学测试仪,对微电子机械系统中键合结构的强度进行测试。最大载荷为1.4N,在载荷量程为450mN时仪器的最高分辨力为10μN。采用键合在玻璃基底上的硅悬臂梁作为试样。为模拟横力剪切破坏和扭转破坏工况,用微力学测试仪分别在悬臂梁的固定端和自由端施加载荷至试样破坏。测得相应的破坏载荷并计算出最大剪应力。对破坏残骸的显微观察发现,存在玻璃开裂和硅开裂2种失效模式。该技术为微电子机械系统(microelectromechanicalsystem,MEMS)键合结构的强度表征提供一种有效方法,并可用来进行微悬臂梁或微桥的强度测试。
- 郇勇张泰华杨业敏阮勇张大成
- 关键词：微电子机械系统键合微悬臂梁
- 高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
- 2024年
- 针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度数据采集系统,主控芯片采用STM32,数据采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,实现了对高温恶劣环境下温度数据的实时采集。结果表明:设计制备的NiCr/NiSi薄膜热电偶能够实现-40~1000℃温度区间稳定测温,高精度测温系统与标准温度测量系统相比误差优于±0.4%,为高温恶劣环境下温度测量提供了有效且可靠的解决方法。
- 阮勇肖倩韩玉宁刘海龙李嘉恒吴宇石萌董和磊
- 关键词：高温薄膜热电偶测温电路
- 无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用被引量：3
- 2014年
- 燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势,特别是在恶劣工作条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中,应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论,并对无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。
- 尤政王伟忠陈硕阮勇
- 关键词：燃气轮机实时监测恶劣环境
- 氮化铝和碳化硅复合结构图形化方法以及复合结构
- 本申请提供一种氮化铝和碳化硅复合结构图形化方法以及复合结构。通过所述氮化铝和碳化硅复合结构图形化方法，在制备所述碳化硅结构和所述氮化铝结构时，对AlN(氮化铝薄膜层)采用Cl基刻蚀气体，使得AlN侧向腐蚀较小，有效维持A...
- 阮勇尤政张高飞周元楷
- 热电偶测试装置、温度检测方法、处理设备和存储介质
- 本申请涉及一种热电偶测试装置、温度检测方法、处理设备和存储介质。所述热电偶测试装置包括热电偶、采集模块和处理模块，将热电偶的热端设置于待测的目标管道内，采集模块获取热电偶产生的第一电压和热电偶的冷端温度值，向处理模块传输...
- 阮勇韩玉宁石萌
- ITO薄膜及其制备方法
- 本发明涉及一种ITO薄膜的制备方法，包括如下步骤：将基底置于腔室，并设置靶材与基底之间的距离为56mm～65mm；对所述腔室进行抽真空处理以及加热处理，使所述基底的温度为285℃～328℃；向所述腔室通入氩气，并调节所述...
- 阮勇尤政张晓琳
- 文献传递
