毛洁
- 作品数:8 被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:机械工程理学更多>>
- 一种透镜中心厚度干涉测量方法
- 本发明公开了一种透镜中心厚度干涉测量方法,该方法首先通过移动被测透镜,使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿,获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标...
- 毛洁侯溪伍凡
- 文献传递
- 一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法
- 本发明公开了一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法,该方法以选取的数据点为中心点,采用多次函数对滤波窗口(滤波窗口大小可调)内的数据进行基于最小二乘法的多项式拟合(多次函数阶数可选),得到多项式系数,并以常数项系数作为...
- 宋伟红李世芳侯溪赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
- 文献传递
- 一种透镜折射率干涉测量方法
- 本发明公开了一种透镜折射率干涉测量方法,该方法首先通过移动被测透镜,使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿,获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标,...
- 毛洁侯溪伍凡
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- 一种透镜中心厚度干涉测量方法
- 本发明公开了一种透镜中心厚度干涉测量方法,该方法首先通过移动被测透镜,使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿,获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标...
- 毛洁侯溪伍凡
- 文献传递
- 曲率半径干涉测量定焦误差分析被引量:3
- 2015年
- 为了提高曲率半径定焦准确度,从移相干涉仪,标准镜头透射波前误差,被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发,分析影响干涉仪定焦准确度的各因素,并给出各误差补偿表达式.通过对比实验发现,在猫眼及共焦位置处调整误差补偿后,离焦量及曲率半径测量结果的变化趋势由近似线性变为随机变化,同时由离焦量引入的曲率半径变化量由7.05μm减小为0.5μm.在曲率半径干涉测量中,调整误差为影响定焦准确度的主要误差源,调节调整误差可有效控制离焦量的变化,提高曲率半径测量准确度.
- 毛洁侯溪伍凡
- 关键词:曲率半径定焦离焦量误差分析
- 一种球面面形误差绝对检测方法
- 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法,利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据,采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法,构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系,运用最小二乘法解得Z...
- 宋伟红侯溪李世芳赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
- 文献传递
- 一种透镜折射率干涉测量方法
- 本发明公开了一种透镜折射率干涉测量方法,该方法首先通过移动被测透镜,使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿,获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标,...
- 毛洁侯溪伍凡
- 一种球面面形误差绝对检测方法
- 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法,利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据,采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法,构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系,运用最小二乘法解得Z...
- 宋伟红侯溪李世芳赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
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