王旦清
- 作品数：10 被引量：4H指数：1
- 供职机构：南京大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 激光干涉制备二维纳米硅阵列及在提高光萃取效率中的应用
- 纳米硅(nc-Si)薄膜作为半导体材料中的重要一员，其制备方法及性能研究已经成为国际上的热点之一。本文利用一种激光干涉诱导结晶的方法，由激光光源与二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)相结合，产生二维分布的干涉激光束。
- 王旦清姚尧陈坤基黄信凡徐骏马忠元
- 关键词：激光干涉纳米硅薄膜半导体材料
- 文献传递
- 提高掺氧硅基氮化物薄膜电致发光器件发光效率的方法
- 提高掺氧硅基氮化物薄膜电致发光器件发光效率的方法，其步骤是1)在室温下生长富硅非晶氮化硅(a－SiNx)薄膜：利用等离子体增强化学汽相淀积方法，在室温下，采用硅烷(SiH<Sub>4</Sub>)和氨气(NH<Sub>3...
- 黄锐陈坤基董恒平王旦清李伟徐骏马忠元徐岭黄信凡
- 文献传递
- 掺氧氮化硅发光二极管的发光特性研究
- 2010年
- 采用等离子体增强化学气相沉积方法低温制备非晶氮化硅薄膜,在低温下以氧气为气源,等离子体氧化非晶氮化硅薄膜,以这层薄作为有源层制备电致发光器件。实验结果表明以此方法制备的器件在正向偏置电压下可观测到强烈的黄绿光,发光峰位于540 nm,而且电致发光开启电压低,仅为6 V,功耗小。光致发光谱和电致发光谱测量表明发光来自同一种发光中心,即与Si-O相关的发光中心。
- 黄锐王旦清王祥陈坤基
- 关键词：氮化硅电致发光光致发光
- 局域表面等离激元增强光发射中银岛膜的制备和光学特性研究
- 基于LED的固态光源因其工作电压低、寿命长、体积小等优点而备受青睐，但在可见光波段较低的光发射效率限制了它的进一步发展。为了研究金属岛膜吸收峰位的变化情况，本文在不同条件下制备了生长厚度为10nm、20nm和30nm的银...
- 严敏逸徐岭马忠元王旦清孙红程方忠慧李伟陈坤基黄信凡徐骏
- 关键词：固态光源银岛膜表面形貌光学性质
- 文献传递
- 基于Si-rich SiN_x/N-rich SiN_y多层膜结构的量子点构筑及发光特性被引量：3
- 2010年
- 利用等离子体增强化学气相沉积法制备Si-rich SiNx/N-rich SiNy多层膜,分别使用热退火和激光辐照技术对多层膜进行退火,以构筑三维限制、尺寸可控、有序的硅纳米晶.实验结果表明,经退火后,纳米硅晶粒在Si-rich SiNx子层内形成,其尺寸可由Si-rich SiNx子层厚度调控.实验还发现,激光辐照技术相比于热退火能更有效地改善多层膜的微结构,提高多层膜的晶化率,以激光技术诱导晶化的Si-rich SiNx/N-rich SiNy多层膜作为有源层构建电致发光器件,在室温下观察到了增强的电致可见发光,并且发光效率较退火前提高了40%以上.
- 黄锐王旦清宋捷丁宏林王祥郭艳青陈坤基徐骏李伟马忠元
- 关键词：多层膜
- 二维移相光栅光强分布的计算及在制备有序纳米硅阵列中的应用被引量：1
- 2010年
- 从菲涅耳衍射积分的一般形式出发,结合二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)的具体参数,通过数值计算得到了作用于样品表面的光强分布.实验上,采用激光干涉晶化的方法,利用周期为400nm的2D-PSGM调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜上直接制备了2D的有序纳米硅(nc-Si)阵列.测试结果表明:2D的nc-Si阵列的周期和PSGM的相一致,晶化区域与理论模拟的结果符合得很好.
- 严敏逸王旦清马忠元姚尧刘广元李伟黄信凡陈坤基徐骏徐岭
- 关键词：纳米硅菲涅耳衍射
- 脉冲激光晶化超薄非晶硅膜的分子动力学研究
- 2010年
- 利用准分子脉冲激光晶化非晶硅薄膜是制备高密度尺寸可控的硅基纳米结构的有效方法之一.本文将脉冲激光对非晶硅超薄膜的影响处理为热传导问题,采用了基于Tersoff势函数的分子动力学方法模拟了在非晶氮化硅衬底上2.7nm超薄非晶硅膜的脉冲激光晶化过程.研究了不同激光能量对非晶硅薄膜晶化形成纳米硅的影响,发现在合适的激光能量窗口下,可以获得高密度尺寸可控的纳米硅薄膜,进而模拟了在此能量作用下非晶硅膜中成核与生长的机理与微观过程,并对晶化所获得的纳米硅薄膜的微结构进行了分析.
- 陈谷然宋超徐骏王旦清徐岭马忠元李伟黄信凡陈坤基
- 关键词：非晶硅分子动力学
- 提高掺氧硅基氮化物薄膜电致发光器件发光效率的方法
- 提高掺氧硅基氮化物薄膜电致发光器件发光效率的方法，其步骤是1)在室温下生长富硅非晶氮化硅(a-SiNx)薄膜：利用等离子体增强化学汽相淀积方法，在室温下，采用硅烷(SiH<Sub>4</Sub>)和氨气(NH<Sub>3...
- 黄锐陈坤基董恒平王旦清李伟徐骏马忠元徐岭黄信凡
- 文献传递
- 提高a-SiN:O LED发光效率的研究
- 硅基光源是实现硅基光电单片集成中最为关键的一个课题。如何获得高效、稳定的硅基发光器件是目前研究的热点问题，它的实现对于硅基光电子学也有非常重要的意义。到目前为止，硅基发光材料的研究主要集中于一些低维结构的探索，如硅氧化硅...
- 王旦清
- 关键词：发光材料快速热退火激光晶化
- 基于Si-rich SiNx/N-rich SiNy多层膜结构电致发光特性研究
- 2009年
- 利用等离子体增强化学气相沉积法制备了富硅氮化硅/富氮氮化硅多层膜,并以此氮化硅基多层膜作为有源层构建电致发光器件,在室温下观察到了较强的电致可见发光.在此基础上,研究多层膜结构中作为势垒层的富氮氮化硅层对器件电致发光性质的影响,实验结果表明通过改变势垒层的Si/N组分,调制其势垒高度,器件的电致发光效率可得到显著地提高.
- 黄锐董恒平王旦清陈坤基丁宏林徐骏李伟马忠元
- 关键词：电致发光多层膜
