范文超
- 作品数：21 被引量：40H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 光刻机E-Pin升降机构的控制系统设计
- 2014年
- 考虑到光刻机E-PIN升降机构吸附硅片做上下往复运动,准确定位、快速性、稳定性的要求,提出了一种基于DSP和FPGA的升降机构控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP2812为控制器,Altera公司的EP3C25E144C3N作为可编程逻辑器件,设计了信号采集模块,规划了控制系统的整体框架,定义了通信传输协议。详细介绍了控制系统的运动控制模块、传感器模块、驱动电路、音圈电机执行机构等方面的设计。通过实验证明,该控制系统运行可靠,准确性、稳定性达到要求。
- 徐加彦陈兴林范文超张广莹
- 关键词：DSP2812光刻机音圈电机
- 光刻机微动台的运动解耦及位置控制研究被引量：2
- 2015年
- 在分析了光刻机掩膜台微动台(简称微动台)结构的基础上,对微动台的六自由度运动进行了几何解耦,将其分解为两个三自由度上的解耦,并从实际系统的角度出发完成了解耦计算。最后针对微动音圈电机位置控制,提出了基于线性扩张状态观测器的增量式PID控制,并取得了良好的控制效果。
- 魏凯王伟峰范文超陈兴林
- 关键词：微动台运动解耦扩张状态观测器增量式PID
- 双工件台六自由度微动台运动控制研究
- 双工件台作为光刻机运动控制系统关键机构，在光刻机的硅片对准、调平调焦和曝光刻片过程中起到了重要作用。六自由度微动台作为双工件台的核心部件，是系统达到纳米级伺服定位精度的关键。本文主要针对双工件台六自由度微动台进行运动控制...
- 范文超
- 关键词：光刻机运动控制滑模控制
- 文献传递
- 主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计被引量：3
- 2015年
- 本文对超精密运动平台宏微控制系统进行了设计,并分析对比了两种主从结构的宏微策略,确定了宏动跟随微动的设计方案。针对光刻机宏微模型耦合部分引起的平台运动控制误差,本文引入了线性状态观测器对其进行补偿,并针对微动台音圈电机位置伺服系统设计了线性扩张状态观测器来实现对干扰的抑制。实验结果表明,加入线性状态观测器能够提高宏微控制系统的控制性能。
- 范文超李晓宇陈兴林魏凯
- 关键词：光刻机
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME...
- 陈兴林刘法志刘帅刘启循魏凯范文超张之万杨旭东
- 文献传递
- 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法
- 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力，垂向运动部分通过控制运动直线电机带动...
- 刘杨刘启循陈兴林李宗哲李欣陈震宇范文超
- 文献传递
- 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法
- 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压...
- 刘杨刘启循陈兴林李宗哲李欣陈震宇范文超
- 文献传递
- 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法
- 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法，属于运动控制的信号采集与数据通信技术领域。为了解决多运动控制卡同时读取光栅尺数据时，存在竞争冒险、相互干扰和实时同步性能差的问题。方法包括：单一运动控制卡输...
- 陈兴林魏凯宋法质范文超徐加彦刘法志刘杨
- 文献传递
- 全双工与半双工转换器及转换方法
- 全双工与半双工转换器及转换方法，涉及全双工与半双工通信兼容技术。它为了解决解决采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡直接进行通信时，存在数据丢失或误码率高的问题。本发明在半双工信号采集模块...
- 陈兴林范文超王伟峰刘杨魏凯王斌
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统
- 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME...
- 陈兴林刘法志刘帅刘启循魏凯范文超张之万杨旭东
- 文献传递
