董良
- 作品数：39 被引量：58H指数：5
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金清华大学基础研究基金资助国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 室温微测辐射热计线性阵列的设计与制作
- 对微测辐射热计的微桥结构进行了优化设计.采用多晶锗硅Poly-Si<,0.7>Ge<0.3>薄膜电阻作为微测辐射热计的探测敏感元件,结合微机械加工技术制作了8×1微测辐射热计线性阵列,制作工艺温度小于650℃,微桥桥面面...
- 董良岳瑞峰刘理天
- 关键词：微测辐射热计红外探测器
- 文献传递
- 多晶锗硅室温微测辐射热计线性阵列的研制被引量：3
- 2004年
- 采用超高真空气相淀积系统 ( UHVCVD)制备了多晶锗硅薄膜 ( poly-Si0 .7Ge0 .3) ,研究了它的退火特性和电阻温度特性。将多晶锗硅薄膜电阻作为微测辐射热计的敏感元件 ,采用体硅微机械加工技术制作了 8× 1桥式微测辐射热计线性阵列 ,优化设计的微桥由两臂支撑 ,支撑臂的长和宽分别为 2 2 0 μm和 8μm,桥面面积为 80μm× 80μm。测试结果表明 ,在 773 K黑体源 8～ 1 4μm红外辐射下 ,调制频率为 3 0 Hz时 ,阵列中各单元的电压响应率为 6.2 3 k V/W～ 6.40 k V/W,探测率为 2 .2 4× 1 0 8cm Hz1 /2 W- 1～ 2 .3 3× 1 0 8cm Hz1 /2 W- 1 ,热响应时间为2 1 .2 ms～ 2 2 .1 ms,表明了器件具有较高的性能及较好的一致性。
- 董良岳瑞峰刘理天
- 关键词：微机械
- 介质上电润湿现象的研究
- 介绍了介质上电润湿的基本原理,分析了介质层材料的介电常数对接触角变化的影响,并提出了优化介质薄膜厚度的方法,为介质上电润湿的进一步应用提供了理论基础。
- 曾雪锋董良吴建刚岳瑞峰刘理天
- 关键词：介质上电润湿接触角
- 文献传递
- 硅基薄膜晶体管室温红外探测器
- 硅基薄膜晶体管室温红外探测器属于单片集成式红外探测器技术领域，其特征在于：它是一种用薄膜晶体管作为热敏感元件且采用倒置参差结构的室温红外探测器，它含有：做在悬空微桥的桥面上用作热敏感元件的薄膜晶体管，做在选择性地在硅衬底...
- 刘理天董良岳瑞峰
- 文献传递
- 非晶硅TFT室温红外探测器的光学特性研究
- 针对非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的实际结构,提出了两种计算红外吸收率的数学模型,并结合光学导纳矩阵法研究了它的光学特性.对钝化层的结构和材料进行了优化设计,并用在了实际阵列的制作中.
- 张万杰董良岳瑞峰刘理天
- 关键词：非晶硅薄膜晶体管红外探测器光学特性
- 文献传递
- 介质上电润湿现象的研究被引量：10
- 2004年
- 介绍了介质上电润湿的基本原理,分析了介质层材料的介电常数对接触角变化的影响,并提出了优化介质薄膜厚度的方法,为介质上电润湿的进一步应用提供了理论基础。
- 曾雪锋董良吴建刚岳瑞峰刘理天
- 关键词：介质上电润湿接触角
- 基于介质上电润湿的反射式显示单元的研究被引量：2
- 2004年
- 介质上电润湿能够在微米尺度上实现对液滴的快速驱动,利用这个特点,设计了一种新型反射式显示单元,并进行了初步的实验验证。结果表明,与传统反射式显示单元相比,此结构具有高反射率、高对比度和低驱动电压等特性。
- 吴建刚岳瑞峰曾雪锋董良刘理天
- 关键词：介质上电润湿微流体
- 一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备被引量：1
- 2004年
- 利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
- 曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢董良刘理天
- 关键词：TEFLON
- 硅基薄膜晶体管室温红外探测器
- 硅基薄膜晶体管室温红外探测器属于单片集成式红外探测器技术领域，其特征在于：它是一种用薄膜晶体管作为热敏感元件且采用倒置参差结构的室温红外探测器，它含有：做在悬空微桥的桥面上用作热敏感元件的薄膜晶体管，做在选择性地在硅衬底...
- 刘理天董良岳瑞峰
- 文献传递
- 吸收层厚度对电阻型室温红外传感器性能的影响
- 本文利用硅基微机械加工技术制作了具有微桥结构的电阻式室温红外传感器,采用光学导纳矩阵法分析了FECVD-SiO<,2>/PolySi热氧SiO<,2>多层膜系的光学特性,指出器件的红外吸收率随PECVD-SiO<,2>红...
- 董良岳瑞峰刘理天
- 文献传递
