胡欢
- 作品数：11 被引量：17H指数：2
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金清华大学基础研究基金资助更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 一种介质层上的电润湿微液滴驱动器
- 本实用新型公开了属于微全分析和微机电装置范围的一种介质层上的电润湿微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO<Sub>2</Sub>下极板衬底，在衬底上为Ti/Pt下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在上面，碳氟聚合物薄膜厌水...
- 岳瑞峰曾雪锋吴建刚胡欢刘理天
- 文献传递
- 感应耦合等离子体化学气相淀积制备厌水性碳氟聚合物薄膜及其特性的研究
- 本文采用ICP-CVD法并以c-C4F8为反应气体制备出厌水性的碳氟聚合物薄膜,并研究了淀积条件与去离子水和薄膜之间的静态接触角的关系.结果表明,随着c-C4F8的气体流量增加和射频功率减小,去离子水和薄膜之间的静态接触...
- 曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢康明刘理天
- 关键词：感应耦合等离子体化学气相淀积接触角
- 文献传递
- 一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备被引量：1
- 2004年
- 利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
- 曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢董良刘理天
- 关键词：TEFLON
- 用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究被引量：10
- 2006年
- 研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-d ielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片。它采用“三明治”结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(AF1600薄膜的S iO2作为疏水性介质层;上极板是涂覆有Teflon(AF1600疏水薄膜的透明电极。通过分析数字化微流控系统的基本操作(离散液滴的传输、拆分及混合)的物理机理和模拟优化,在35 V低驱动电压下实现了约0.35μL和0.45μL去离子水离散液滴的传输和合并,并在70 V驱动电压下实现了0.8μL液滴的拆分等操作。
- 吴建刚岳瑞峰曾雪锋康明胡欢王喆垚刘理天
- 关键词：微机械介质上电润湿
- 一种新型基于电润湿的受光反射型显示单元被引量：3
- 2006年
- 利用电润湿原理制备了一种新型受光反射型显示单元。利用具有良好黏合性、疏水性和耐油性的PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料,研制了结构精简的反射型显示单元,成功地控制了显示单元中油滴的扩张与收缩,实现了像素单元对比度的变化。
- 胡欢吴建刚赵皛曦王喆垚岳瑞峰刘理天
- 关键词：微流体聚二甲基硅氧烷
- 用于微流控芯片系统的超疏水表面的制备被引量：2
- 2006年
- 为了分析超疏水表面的物理特性及应用前景,介绍了粗糙超疏水表面的两种理论模型,提出了一种基于MEMS加工技术的超疏水表面制备工艺,即利用ICP刻蚀工艺制备规则的硅方柱,并用旋转涂覆TeflonAF1600作为疏水薄膜,制备了疏水特性可控的硅表面。对接触角进行了测量,结果表明,在平整Teflon薄膜表面上,去离子水液滴的本征接触角约为117°,在边长间距比为10μm/35μm的方柱表面上的去离子水液滴显现接触角可达170°。另处,还给出了为避免Wenzel液滴出现的“安全”设计参数(方柱间距边长比小于2.5),以及一种基于润湿性梯度的微流体操控方案。
- 吴建刚岳瑞峰胡欢曾雪锋康明王喆垚刘理天
- 关键词：超疏水表面微机械ICP刻蚀
- 基于介质层上电润湿的微液滴驱动器
- 本发明公开了属于微全分析系统和微机电系统范围的一种基于介质层上电润湿的微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO<Sub>2</Sub>下极板衬底，在衬底上为Ti/Pt双层下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在下电极阵列上面，...
- 岳瑞峰曾雪锋吴建刚胡欢刘理天
- 文献传递
- 用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器被引量：2
- 2006年
- 介质上电润湿(EWOD)是指通过在介质层下面的微电极阵列上施加电势来控制液体和固体介质层表面之间的润湿特性.研制出了EWOD液滴产生器的原型.它采用“三明治”结构:液体被夹在上下电极之间;下极板用硅作为微电极阵列衬底、低压化学气相淀积(LPCVD)制备的Si3N4薄膜作为介质层,感应耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)制备的碳氟聚合物薄膜作为厌水层;上极板是覆盖有厌水层的透明导电玻璃板.为了得到产生液滴所需要的最小电压,对液滴产生的过程和临界条件进行了理论分析.在35V电压下实现了包围在硅油中的去离子水液滴的产生.
- 曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢董良王喆垚何枫刘理天
- 关键词：微全分析系统介质上电润湿
- 一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
- 利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密,与去离子水之间的接触角高达110°。
- 曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢董良刘理天
- 关键词：TEFLON
- 文献传递
- 基于介质层上电润湿的微液滴驱动器
- 本发明公开了属于微全分析系统和微机电系统范围的一种基于介质层上电润湿的微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO<Sub>2</Sub>下极板衬底，在衬底上为Ti/Pt下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在上面，碳氟聚合物薄膜...
- 岳瑞峰曾雪锋吴建刚胡欢刘理天
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