蒋平英
- 作品数：26 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：重庆市科委基金重庆市教育委员会科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用于电力开关柜测温的声表面波温度传感器
- 本实用新型提供的用于电力开关柜测温的声表面波温度传感器，绝缘支架包括相对设置的盖板和底板；印制电路板平铺固定在底板的下表面；天线整体为扁平状结构；天线平铺设置在底板的上表面；声表面波温度敏感元件为贴片结构，天线和声表面波...
- 丁毅龙峥唐小龙陈婷婷蒋平英谢晓钱俊江施建峰
- 文献传递
- C波段WLP薄膜体声波滤波器的研制被引量：1
- 2022年
- 该文研制了一种晶圆级封装(WLP)的C波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,并使用HFSS对电磁封装模型进行优化,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的FBAR滤波器。采用空腔型结构并制备出FBAR滤波器芯片,同时利用覆膜工艺对FBAR裸芯片进行覆膜和电镀等WLP工艺,得到WLP的FBAR器件。测试结果表明,滤波器的中心频率为6.09 GHz,中心插损为2.92 dB,通带插损为3.4 dB,带宽为112 MHz,带外抑制大于40 dB。
- 刘娅刘娅马晋毅马晋毅谢征珍蒋平英
- 关键词：插入损耗
- 一种薄膜体声波器件封装结构及其封装方法
- 本专利涉及一种薄膜体声波器件封装结构及其封装方法，属于薄膜体声波滤波器晶圆封装技术领域；所述封装结构包括硅晶圆以及有机感光膜支撑墙和有机感光膜盖板，在硅晶圆上方形成具有膜层结构的功能芯片；在功能芯片的两肩处形成有向上凸起...
- 刘娅马晋毅徐阳田本朗梁柳洪龙飞蒋平英张必壮谭发曾
- 文献传递
- C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证
- 2023年
- 介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微机电系统(MEMS)工艺制备与凸点式晶圆级封装实现滤波器制备。研制出标称频率5800 MHz、插入损耗小于2.8 dB、阻带抑制大于40 dBc、体积仅1.0 mm×1.0 mm×0.35 mm的C波段宽带薄膜体声波滤波器。
- 蒋世义蒋平英马晋毅马晋毅陈彦光徐阳刘娅
- 关键词：宽带
- LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制
- 2019年
- 该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3847.5MHz,反谐振频率为3986.25MHz,插入损耗为1.81dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3%。
- 彭霄田本朗毛世平杜波蒋欣徐阳马晋毅蒋平英
- 关键词：机电耦合薄膜体声波谐振器
- 基于裸芯片覆膜的薄膜体声波滤波器被引量：3
- 2021年
- 该文研制了一种空腔型的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器裸芯片。利用FBAR一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制作的谐振器模型形成阶梯型结构FBAR滤波器,利用ADS软件对FBAR滤波器裸芯片进行优化设计。仿真结果表明,FBAR滤波器裸芯片尺寸为1 mm×1 mm×0.4 mm,滤波器的中心频率为3 GHz,中心插损为1.3 dB。采用空腔型结构并制备出FBAR滤波器裸芯片,同时采用覆膜工艺对FBAR裸芯片表面进行覆膜保护,避免裸芯片在使用或运输等过程中被损坏。测试结果显示,覆膜前滤波器裸芯片的中心频率为2.993 GHz,中心插损为1.69 dB;覆膜后滤波器的中心频率为2.997 GHz,中心插损为1.51 dB。对覆膜的影响和覆膜前后的差异进行了分析。
- 刘娅刘娅马晋毅孙科罗方活徐阳徐阳蒋平英许东辉许东辉
- 关键词：裸芯片覆膜插入损耗
- 一种多层薄膜结构的声表面波滤波器
- 本发明涉及一种声表面波器件，涉及一种多层薄膜结构的声表面波滤波器；所述滤波器包括压电层和所述压电层上方梳状设置的金属指条，在所述压电层下方设置有功能层，在所述功能层下方设置有高声速层，在所述高声速层下方设置有支撑衬底。包...
- 彭霄蒋平英何西良罗旋升谢东峰司美菊杨彬彬黎妮罗丹刘春雪
- 文献传递
- ST-02-4-06型无源无线声表面波温度传感器
- 丁毅龙峥蒋平英陈婷婷唐小龙钱俊江谢晓肖立梁栋施建锋刘娅何西良彭锦婕姚远吴雪梅
- 无源无线声表面波温度传感器是基于声表面波技术的测温系统。产品主要包括阅读器、传感头以及配套嵌入软件。由声表面波谐振器构成的传感头由于外界温度改变，引起自身谐振频率发生相应的变化，通过阅读器测量传感头的谐振频率，并根据温度...
- 关键词：
- 关键词：温度传感器
- 一种薄膜体声波滤波器的膜层结构及其制备方法
- 本发明属于薄膜体声波滤波器工艺技术领域，具体涉及一种薄膜体声波滤波器的膜层结构及其制备方法；所述膜层结构包括硅晶圆衬底，在所述硅晶圆衬底的中央开设有空腔，在所述硅晶圆衬底上依次制备支撑层、下电极、压电层、上电极、保护层以...
- 刘娅马晋毅徐阳田本朗蒋平英谭发曾
- 文献传递
- 基于掺杂压电薄膜的FBAR制备及研究被引量：2
- 2020年
- 薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、工作频段高、性能强等优势,在滤波器领域有广泛的应用前景,其最核心的功能层为压电薄膜。本文采用磁控溅射方法,在6英寸硅片上制备了AlScN压电薄膜。对AlScN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlScN压电薄膜具有良好的(002)面择优取向,摇摆曲线半峰宽为1.75°,膜厚均匀性优于0.6%,薄膜应力为10.63 MPa,薄膜应力可调。制作了基于AlScN压电薄膜的FBAR谐振器,其机电耦合系数为7.53%。在AlN中掺杂Sc能够有效提高压电薄膜的机电耦合系数,对研究FBAR滤波器的宽带化有重要意义。
- 兰伟豪徐阳张永川蒋平英司美菊刘娅卢丹丹何西良
- 关键词：压电薄膜磁控溅射机电耦合系数薄膜体声波谐振器
