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蒋涛
作品数:
12
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
张卫
复旦大学
丁士进
复旦大学
王鹏飞
复旦大学
林阳辉
复旦大学
丁子君
复旦大学
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复旦大学
作者
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蒋涛
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丁士进
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张卫
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丁子君
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王鹏飞
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孟庆伟
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2014
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2013
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2012
1篇
2011
1篇
2005
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12
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一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域,具体为一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法。本发明以CF<Sub>3</Sub>I和C<Sub>4</Sub>F<Sub>8</Sub>作为多孔SiCOH薄膜的主要刻蚀气...
丁士进
蒋涛
王鹏飞
张卫
文献传递
一种改善超低介电常数多孔SiCOH薄膜抗吸湿性能的方法
本发明公开了一种改善超低介电常数多孔SiCOH薄膜抗吸湿性能的方法,该方法是将k值为1.6-2.0的超低介电常数多孔SiCOH薄膜,在环境温度下,置于紫外光下进行照射,以提高薄膜的抗吸湿性能,其中,紫外光波长范围为200...
丁士进
蒋涛
张卫
文献传递
一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域,具体为一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法。本发明以1,2-二(三乙氧基硅基)甲烷为前驱体,通过添加表面活性剂聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物、盐酸、...
丁士进
丁子君
蒋涛
张卫
双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法
本发明属于无机有机杂化材料技术领域,具体为一种双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法。本发明利用乙酰丙酮镍、乙酰丙酮铂和乙酰丙酮钯在不同有机溶剂中的不同溶解度,在混合溶剂中制备出催化剂前驱体,或者利用铂、钯金属纳米颗粒生长中的...
林阳辉
蒋涛
电解水催化剂的制备方法
本公开实施例提供电解水催化剂的制备方法,通过将镍盐溶液、铬盐溶液及第三元素的盐溶液进行混合,得到前驱体溶液,第三元素为非贵金属,将前驱体溶液涂覆在电极片上,并进行干燥和煅烧。本公开实施例提出一种包含非贵金属的催化剂的新的...
陆文雅
蒋涛
李丹
龚鸣
吴建翔
卞铁铮
贾飞
双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法
本发明属于无机有机杂化材料技术领域,具体为一种双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法。本发明利用乙酰丙酮镍、乙酰丙酮铂和乙酰丙酮钯在不同有机溶剂中的不同溶解度,在混合溶剂中制备出催化剂前驱体,或者利用铂、钯金属纳米颗粒生长中的...
林阳辉
蒋涛
文献传递
一种可用于电解水制氢的电极片及其制备方法和用途
本发明提供了一种可用于电解水制氢的电极片及其制备方法和用途。本发明的方法包括以下步骤:(1)制备电镀液:将镍盐、Ln盐和可选的添加剂溶解在水中,制得电镀液;(2)电镀:将催化剂载体和惰性阳极置入电镀液中,将惰性阳极连接正...
陆文雅
蒋涛
李丹
龚鸣
卞铁铮
贾飞
一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域,具体为一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法。本发明以CF<Sub>3</Sub>I和C<Sub>4</Sub>F<Sub>8</Sub>作为多孔SiCOH薄膜的主要刻蚀气...
丁士进
蒋涛
王鹏飞
张卫
文献传递
一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域,具体为一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法。本发明以1,2‑二(三乙氧基硅基)甲烷为前驱体,通过添加表面活性剂聚环氧乙烷‑聚环氧丙烷‑聚环氧乙烷三嵌段共聚物、盐酸、...
丁士进
丁子君
蒋涛
张卫
文献传递
超低介电常数多孔SiCOH薄膜的制备与研究
高性能、高集成度、低功耗和高可靠性一直以来是集成电路发展的主要技术指标和方向。随着器件的特征尺寸不断缩小,其功耗不断降低,集成度不断增大,而互连导线-介质之间的电阻-电容(RC)延迟却快速增加,已经成为制约集成电路性能进...
蒋涛
关键词:
硅氧烷
超低介电常数
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