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解露
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4
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供职机构:
西安电子科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学
马晓华
西安电子科技大学
王冲
西安电子科技大学
陈珂
西安电子科技大学
李亮
西安电子科技大学
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王昊
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2011
1篇
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阶梯型凹槽栅高电子迁移率晶体管
本发明公开了一种阶梯型凹槽栅高电子迁移率晶体管,主要解决现有技术的击穿电压低和场板制作工艺复杂的问题。该器件自下而上包括:衬底(1)、成核层(2)、主沟道层(3)和主势垒层(4),主势垒层(4)顶端两侧为源极(5)和漏极...
张进成
付小凡
郝跃
马晓华
王冲
陈珂
奚鹏程
解露
李亮
薛晓咏
文献传递
原位Si3N4 AlGaN/GaN HEMT特性研究
本文介绍了一种新型的以MOCVD原位生长的InmSi3N4为帽层的AlGaN/GaN HEMT。通过与普通的没有Si3N4帽层器件的对比,分析了原位SiN4帽层对器件性能的影响。Si3N4帽层作为栅绝缘层,增加了栅与2D...
解露
郝跃
王昊
马晓华
张进城
王冲
关键词:
半导体器件
MOCVD技术
文献传递
复合势垒高电子迁移率晶体管的研制与分析
GaN基功率放大器的线性度是其应用于无线基站通讯系统的一个重要指标。获得较宽电压范围的高跨导区域是提高器件的线性度的基本要求。本文采用能带剪裁工程成功地制备了具有4V以上高跨导区电压摆幅的AlGaN缓冲层复合势垒高电子迁...
解露
关键词:
电流崩塌
电子迁移率
晶体管
阶梯型凹槽栅高电子迁移率晶体管
本发明公开了一种阶梯型凹槽栅高电子迁移率晶体管,主要解决现有技术的击穿电压低和场板制作工艺复杂的问题。该器件自下而上包括:衬底(1)、成核层(2)、主沟道层(3)和主势垒层(4),主势垒层(4)顶端两侧为源极(5)和漏极...
张进成
付小凡
郝跃
马晓华
王冲
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