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邱永鑫

作品数：21 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信医药卫生化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 1篇标准
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇理学
  • 3篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇生物学
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇农业科学
  • 1篇文化科学

主题

  • 13篇半导体
  • 12篇半导体测试
  • 4篇真空阀
  • 4篇真空阀门
  • 4篇显微镜系统
  • 4篇光谱
  • 4篇测量方法
  • 3篇氮化镓
  • 3篇纳米
  • 3篇感生电流
  • 2篇单色仪
  • 2篇电荷
  • 2篇电荷分布
  • 2篇电势
  • 2篇电学
  • 2篇电子显微镜
  • 2篇异质结
  • 2篇原位
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇珍珠粉

机构

  • 21篇中国科学院
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇福建兆元光电...
  • 1篇浙江长生鸟珍...
  • 1篇苏州纳维科技...
  • 1篇哈尔滨奥瑞德...

作者

  • 21篇邱永鑫
  • 17篇徐科
  • 15篇曾雄辉
  • 15篇王建峰
  • 12篇徐耿钊
  • 12篇樊英民
  • 12篇周桃飞
  • 12篇钟海舰
  • 12篇刘争晖
  • 4篇黄凯
  • 4篇张锦平
  • 2篇刘磊
  • 2篇弓晓晶
  • 2篇王子武
  • 1篇史建平
  • 1篇黄俊
  • 1篇韩佰祥
  • 1篇任国强
  • 1篇许磊
  • 1篇张智军

传媒

  • 1篇理化检验（化...
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇2010年全...
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 8篇2013
  • 7篇2012
  • 2篇2010
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
阴极荧光(CL)和电子束诱导感生电流(EBIC)在材料和半导体器件研究中的应用
@@阴极荧光（Cathodoluminescence.CL，如图l示）和电子束诱导感生电流(Electron beam inducedcurrent.EBIC)是通常安装在场发射扫描电镜上的两个附件。由于目前场发射扫描电...
曾雄辉黄俊黄凯邱永鑫张锦平王建峰徐科
关键词：半导体器件
文献传递
多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法
本发明提供多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法，属于半导体测试领域。装置包括反应腔室、原子力显微镜、电子显微镜和样品台，样品台、原子力显微镜、电子显微镜均位于反应腔内；所述减薄待测样品的方法步骤为：将一样品置于反应腔室...
刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科
文献传递
材料界面的原位加工测试装置
本发明提供材料界面的原位加工测试装置，属于半导体测试技术领域。测试装置包括一第一真空腔室、一第二真空腔室、一真空管、一光路耦合装置和一传递装置；第一真空腔室与第二真空腔室通过真空管相连；真空管包括一真空阀门，用于控制第一...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科
文献传递
半导体材料表面缺陷测量装置及表面缺陷测量方法
本发明提供半导体材料表面缺陷测量装置及表面缺陷测量方法，属于半导体测试领域。装置包括样品台、原子力显微镜导电探针、电压源、压电激振陶瓷、光学显微镜系统、单色仪、光电探测器和锁相放大器，电压源、压电激振陶瓷均与原子力显微镜...
刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉周桃飞邱永鑫王建峰徐科
文献传递
纳米流体二极管及其制造方法
本发明提供一种纳米流体二极管，包括支撑衬底、氧化物掩膜层以及纳米孔道；所述氧化物掩膜层覆盖于支撑衬底表面；在沿垂直支撑衬底与氧化物掩膜层接触面的方向，所述纳米孔道贯穿所述支撑衬底；所述纳米孔道表面具有一覆盖层，所述覆盖层...
弓晓晶刘磊邱永鑫王子武张锦平王建峰徐科
文献传递
半导体材料测量装置及原位测量界面缺陷分布的方法
本发明提供半导体材料测量装置及原位测量界面缺陷分布的方法，属于半导体测试领域，该半导体材料测量装置包括一反应腔室、一样品平台、一聚焦离子束显微镜系统与一电子束诱导感生电流测量装置；并且在该方法中，对多层异质结构的半导体样...
曾雄辉徐耿钊黄凯刘争晖邱永鑫钟海舰樊英民王建峰周桃飞徐科
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界面势垒测量装置及测量界面势垒的方法
本发明提供多层半导体材料界面势垒测量装置及测量多层半导体界面势垒方法，属于半导体测试领域，该半导体装置包括一真空腔、一导电样品台、一扫描探针显微镜、一金属气源产生装置和一聚焦离子束显微镜系统；并且在该方法中，对多层结构的...
樊英民钟海舰徐耿钊刘争晖曾雄辉周桃飞邱永鑫王建峰徐科
掺铕氮化镓纳米粉末的制备和性能表征
稀土掺杂氮化镓有非常广泛的应用,如波导,光涂层,光电子器件等.我们通过将氧化镓和氧化铕固相粉末混合后通氨气氮化的方法研究了氮化镓掺铕的特性.掺杂铕的浓度分别控制在为1～5at.％,氮化温度分别在900℃、1000℃、11...
史建平曾雄辉韩佰祥邱永鑫徐科
关键词：氮化镓铕掺杂
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材料表面局部光谱测量装置及测量方法
本发明提供材料表面局部光谱测量装置及测量方法，属于半导体测试技术领域。装置包括反应腔、光源和光谱仪，光源和光谱仪均与反应腔相连，反应腔又包括第一真空腔、第二真空腔、真空阀门、真空传递装置、聚焦离子束刻蚀装置和光路耦合装置...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民曾雄辉周桃飞邱永鑫王建峰徐科
多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法
本发明提供多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法，属于半导体测试领域。装置包括反应腔室、原子力显微镜、电子显微镜和样品台，样品台、原子力显微镜、电子显微镜均位于反应腔内；所述减薄待测样品的方法步骤为：将一样品置于反应腔室...
刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科
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