邵景鸿 作品数:9 被引量:18 H指数:2 供职机构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 更多>> 发文基金: 国家重大科学工程 更多>> 相关领域: 机械工程 理学 更多>>
用于软X射线变间距平面光栅单色仪的偏心轴系 本发明涉及光学精密机械仪器设备中的一种轴系机构,是直接应用在同步辐射软X射线平面光栅单色仪转轴系统设计中的偏心轴系。本发明是以安装在支架轴孔上的轴体为偏心轴的主轴体,在其上分别向内、外伸出一对偏心轴,即平面镜和光栅转轴,... 邵景鸿文献传递 BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 邵景鸿关键词:光束 X辐射 同步辐射装置 合肥同步辐射反射率测量装置 被引量:13 2004年 分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统。该反射率计工作波长5~100nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度。样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ 2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10-6~10-8Torr的真空度。对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式。 薛松 邵景鸿 卢启鹏 王兆岚 徐仲NSRL软X射线磁性圆二色光束线 被引量:3 2005年 本文对合肥同步辐射(NSRL)二期工程软X射线磁性圆二色光束线进行了介绍。束线主要包括斩波器系统、前置镜系统、单色器系统、后置镜系统、真空系统、软件及电子学系统。光束线的预期指标为:光通量108s-1,实验站的波长范围为100—1000eV,圆偏振度0.6—0.8(随波长变化而变化),在1000eV处的能量分辨率为1000,在实验站的焦点处光斑大小为水平方向3mm,垂直方向1mm。 薛松 邵景鸿 卢启鹏 徐仲 王兆岚 赵振武 王丽秋 唐玉国关键词:软X射线 光束线 BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 1993年 介绍我们为北京正负电子对撞机(Beijing Electron Position Collide,BEPC)同步辐射实验室建造的软X射线光刻光束线的总体设计思想,并说明其中的束线物理设计、反射镜扫描、调整机构、激光模拟光源、真空系统和电子学、微机控制等系统中的关键技术。此外,对束线中的关键器件之一的超薄铍窗(18μm厚)的耐压强度给出了与理论计算趋势相一致的实验结果。 邵景鸿 徐正良关键词:X射线光刻 光束线 真空 同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置 被引量:2 1993年 采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。 薛松 邵景鸿 徐正良 孙剑辉关键词:X辐射 多层膜 反射率 同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计 被引量:1 1994年 分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。 薛松 邵景鸿关键词:软X射线 同步辐射软X射线反射率测试装置 对建于BEPC同步辐射3B1光束线及3W1B光束线上的同步辐射软X光反射率测试装置进行了介绍。3B1光束线中的反射率测试装置集多层膜单色器与反射率计为一体,采用双重二倍角机构,结构紧凑、使用方法,波长50~200A,角分... 薛松 邵景鸿关键词:光栅 单色仪 用于软X射线变间距平面光栅单色仪的偏心轴系 本发明涉及光学精密机械仪器设备中的一种轴系机构,是直接应用在同步辐射软X射线平面光栅单色仪转轴系统设计中的偏心轴系。本发明是以安装在支架轴孔上的轴体为偏心轴的主轴体,在其上分别向内、外伸出一对偏心轴,即平面镜和光栅转轴,... 邵景鸿文献传递