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邵景鸿

作品数:9 被引量:18H指数:2
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金:国家重大科学工程更多>>
相关领域:机械工程理学更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 2篇专利

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇理学

主题

  • 4篇软X射线
  • 3篇单色仪
  • 3篇束线
  • 3篇光束
  • 3篇光束线
  • 3篇光栅
  • 2篇设计特性
  • 2篇偏心
  • 2篇偏心距
  • 2篇平面光栅
  • 2篇轴系
  • 2篇物理设计
  • 2篇X辐射
  • 2篇BEPC
  • 2篇测试装置
  • 1篇多层膜
  • 1篇真空
  • 1篇软X射线多层...
  • 1篇同步辐射装置
  • 1篇光刻

机构

  • 5篇中国科学院长...
  • 4篇中国科学院长...

作者

  • 9篇邵景鸿
  • 3篇薛松
  • 2篇薛松
  • 2篇徐仲
  • 2篇王兆岚
  • 2篇卢启鹏
  • 2篇徐正良
  • 1篇王丽秋
  • 1篇孙剑辉
  • 1篇唐玉国
  • 1篇赵振武

传媒

  • 4篇光学精密工程
  • 1篇核技术
  • 1篇全国第二次同...
  • 1篇同步辐射光束...

年份

  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2002
  • 1篇1997
  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 2篇1993
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
用于软X射线变间距平面光栅单色仪的偏心轴系
本发明涉及光学精密机械仪器设备中的一种轴系机构,是直接应用在同步辐射软X射线平面光栅单色仪转轴系统设计中的偏心轴系。本发明是以安装在支架轴孔上的轴体为偏心轴的主轴体,在其上分别向内、外伸出一对偏心轴,即平面镜和光栅转轴,...
邵景鸿
文献传递
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性
邵景鸿
关键词:光束X辐射同步辐射装置
合肥同步辐射反射率测量装置被引量:13
2004年
分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统。该反射率计工作波长5~100nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度。样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ 2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10-6~10-8Torr的真空度。对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式。
薛松邵景鸿卢启鹏王兆岚徐仲
NSRL软X射线磁性圆二色光束线被引量:3
2005年
本文对合肥同步辐射(NSRL)二期工程软X射线磁性圆二色光束线进行了介绍。束线主要包括斩波器系统、前置镜系统、单色器系统、后置镜系统、真空系统、软件及电子学系统。光束线的预期指标为:光通量108s-1,实验站的波长范围为100—1000eV,圆偏振度0.6—0.8(随波长变化而变化),在1000eV处的能量分辨率为1000,在实验站的焦点处光斑大小为水平方向3mm,垂直方向1mm。
薛松邵景鸿卢启鹏徐仲王兆岚赵振武王丽秋唐玉国
关键词:软X射线光束线
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性
1993年
介绍我们为北京正负电子对撞机(Beijing Electron Position Collide,BEPC)同步辐射实验室建造的软X射线光刻光束线的总体设计思想,并说明其中的束线物理设计、反射镜扫描、调整机构、激光模拟光源、真空系统和电子学、微机控制等系统中的关键技术。此外,对束线中的关键器件之一的超薄铍窗(18μm厚)的耐压强度给出了与理论计算趋势相一致的实验结果。
邵景鸿徐正良
关键词:X射线光刻光束线真空
同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置被引量:2
1993年
采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。
薛松邵景鸿徐正良孙剑辉
关键词:X辐射多层膜反射率
同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计被引量:1
1994年
分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。
薛松邵景鸿
关键词:软X射线
同步辐射软X射线反射率测试装置
对建于BEPC同步辐射3B1光束线及3W1B光束线上的同步辐射软X光反射率测试装置进行了介绍。3B1光束线中的反射率测试装置集多层膜单色器与反射率计为一体,采用双重二倍角机构,结构紧凑、使用方法,波长50~200A,角分...
薛松邵景鸿
关键词:光栅单色仪
用于软X射线变间距平面光栅单色仪的偏心轴系
本发明涉及光学精密机械仪器设备中的一种轴系机构,是直接应用在同步辐射软X射线平面光栅单色仪转轴系统设计中的偏心轴系。本发明是以安装在支架轴孔上的轴体为偏心轴的主轴体,在其上分别向内、外伸出一对偏心轴,即平面镜和光栅转轴,...
邵景鸿
文献传递
共1页<1>
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