邹璐
- 作品数：5 被引量：121H指数：5
- 供职机构：浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
- 脉冲激光沉积法生长Zn_(1-x)Mg_xO薄膜被引量：17
- 2002年
- 采用脉冲激光沉积法 ,生长出没有组分偏析 ,晶体质量好的 Zn1 - x Mgx O薄膜 (x=0 .2 ) .研究了衬底温度对Zn0 .8Mg0 .2 O薄膜晶体质量、晶粒度大小的影响 ,发现最佳衬底温度为 6 5 0℃左右 .对 Zn0 .8Mg0 .2 O薄膜进行了光致发光分析 ,发现相对 Zn O晶体有 0 .4 e
- 邹璐叶志镇黄靖云赵炳辉
- 关键词：脉冲激光X射线衍射PL谱
- 磁控溅射中生长参数对氧化锌薄膜性能的影响被引量：20
- 2001年
- 介绍了氧化锌的应用和制备方法 ,着重研究了磁控溅射中各生长参数如衬底温度。
- 邹璐叶志镇
- 关键词：磁控溅射
- ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究被引量：68
- 2003年
- 以Si(111)衬底 ,用脉冲激光沉积 (PLD)法制得C轴高度择优取向的ZnO薄膜 ,并利用剥离技术制备了ZnO光导型紫外探测器 .Al叉指状电极是由平面磁控溅射技术沉积得到的 .对Al/ZnO/Al的伏安特性和紫外光响应的研究表明 ,金属铝和ZnO能形成很好的欧姆接触 ,紫外探测器的电阻值在 10 0KΩ左右 .在紫外区域 ,其 5V偏压下的光响应度为0 .5A/W .
- 叶志镇张银珠陈汉鸿何乐年邹璐黄靖云吕建国
- 关键词：ZNO薄膜欧姆接触光响应度
- 面向Agent的智能制造系统控制结构研究被引量：11
- 1999年
- 结合分布式人工智能中的Ａｇｅｎｔ 技术和现代制造系统的特点，研究了面向Ａｇｅｎｔ 的智能制造系统控制结构。介绍了Ａｇｅｎｔ 和多Ａｇｅｎｔ 系统的概念，同时将市场机制引入多Ａｇｅｎｔ 协作模型，最后讨论了Ａｇｅｎｔ
- 仲智刚潘晓弘程耀东钱碧波邹璐
- 关键词：AGENT人工智能智能制造系统
- 硅衬底上Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的结构与光学性质被引量：10
- 2003年
- 采用脉冲激光法 (PLD)在Si衬底上沉积Zn1 -xMgxO薄膜 .x射线衍射 (XRD)表明薄膜为c轴取向 ,(0 0 2 )峰的半高宽仅为 0 .2 11° ,且没有MgO的相偏析 .透射电子显微镜可以清楚看到Zn1 -xMgxO薄膜的c轴择优取向 .在选区电子衍射图中可以看到Zn1 -xMgxO结晶薄膜整齐的衍射斑点 .室温下对Zn1 -xMgxO薄膜进行了光致荧光光谱分析 ,发现其带边发射峰相对ZnO晶体有 0 .4eV的蓝移 ,带边发射峰与杂质发射峰的强度之比高达 15 9.Zn1 -xMgxO结晶薄膜质量良好 。
- 邹璐汪雷黄靖云赵炳辉叶志镇
- 关键词：硅衬底光学性质X射线衍射半导体光电器件
