陈俊领
- 作品数：4 被引量：6H指数：1
- 供职机构：河南大学物理与电子学院更多>>
- 发文基金：省部共建河南大学科研项目更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺电气工程更多>>
- 488nm连续激光晶化本征非晶硅薄膜的喇曼光谱研究被引量：5
- 2011年
- 利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同激光功率密度和扫描时间下的晶化状态进行了表征,并用514nm波长与488nm波长对样品的晶化效果进行了比较.测试结果显示:激光照射时间60s,激光功率密度在1.57×105 W/cm2时,能实现非晶硅向多晶硅的转变,在功率密度达到2.7 56×105 W/cm2时,有非晶开始向单晶转变,随着激光功率密度的继续增加,晶化结果仍为单晶;在功率密度为2.362×105 W/cm2下,60s照射时间晶化效果较好;在功率密度为2.756×105 W/cm2和照射时间为60s的条件下,用488nm波长比514nm波长的激光晶化本征非晶硅薄膜效果较好,并均为单晶态.
- 段国平陈俊领韩俊鹤黄明举
- 关键词：喇曼光谱单晶硅激光晶化多晶硅
- 本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化被引量：1
- 2013年
- 为了减低非晶硅薄膜太阳能电池的光致衰减效应和提高其光电转换效率,用等离子体化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,用波长为248nm的KrF准分子激光器激光晶化了非晶硅表层,用共焦显微喇曼测试技术研究了非晶硅薄膜在不同的激光能量密度和不同的频率下的晶化状态,并用扫描电子显微镜测试晶化前后薄膜的形貌。结果表明,随着激光能量密度的增大,薄膜晶化效果越来越好,能量密度达到268.54mJ/cm2时晶化效果最好,此时结晶比约为76.34%;最佳的激光能量密度范围是204.99mJ/cm2～268.54mJ/cm2,这时薄膜表面晶化良好;在1Hz～10Hz范围内,激光频率越大晶化效果越好;晶化后薄膜明显出现微晶和多晶颗粒,从而达到了良好的晶化效果。
- 段国平陈俊领周德让韩俊鹤黄明举
- 关键词：激光技术微晶硅激光晶化多晶硅
- 激光能量对沉积纳米Si薄膜晶粒尺寸的影响被引量：1
- 2012年
- 为了制备纳米硅薄膜,采用脉冲激光沉积系统,保持靶材和衬底间距不变,在不同激光能量条件下,得到一系列纳米Si薄膜。利用喇曼散射光谱和X射线衍射谱对晶粒尺寸进行了计算和分析,取得了几组数据。结果表明,改变脉冲激光能量时,纳米Si晶粒平均尺寸均随能量的增强先增大后减小;在单脉冲能量为300mJ时制备的纳米Si晶粒平均尺寸最大,为8.58nm。这一结果对纳米硅薄膜制备的研究有积极意义。
- 陈俊领段国平黄明举
- 关键词：RAMAN谱X射线衍射谱
- 太阳能电池窗口层纳米硅薄膜的制备及其光电性能的研究
- 太阳电池是一种新型的光电器件，人类可以通过它利用清洁的太阳能。对太阳电池材料的研究一直是许多光伏人研究的热门课题。其中对太阳能电池窗口层材料的研究也许多科研人员关注的课题之一。当前的太阳电池中常见的窗口材料有a-Si:H...
- 陈俊领
- 关键词：纳米硅薄膜脉冲激光沉积光学带隙
- 文献传递
