韩建强
- 作品数：20 被引量：73H指数：5
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金教育部重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 微桥谐振器的一种新型温度补偿结构
- 本发明公开了一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，该谐振器由在同一芯片上制作的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器组成，微桥谐振器和微悬臂梁谐振器材料相同，厚度相等或相近，制作工艺相同且同时制作，因而二者对温度变化可以...
- 朱长纯韩建强刘君华
- 文献传递
- 热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究被引量：8
- 2002年
- 基于对影响微悬臂梁谐振器品质因数的内摩擦、支座损耗、氧化层（或镀层）损耗和分子阻尼、空气阻尼和压膜阻尼等阻尼机制的理论分析，计算出不计成型槽阻尼时微梁在高真空、分子阻尼或粘性空气中谐振的品质因数，提出较小的成型槽宽度可降低在粘性空气中谐振的微悬臂梁谐振器的品质因数．制作了成型槽宽度不等的电热激励-压敏电阻检测硅-二氧化硅双层结构微悬臂梁谐振器，测试了其在粘性空气中的品质因数．实验数据表明：对成型槽宽度大于梁宽度的微悬臂梁谐振器，测量值与计算值符合较好，反之具有较大误差．
- 韩建强朱长纯刘君华张鲲
- 关键词：热激励微悬臂梁谐振器品质因素传感器
- 电热激励微谐振器谐振特性及其应用技术研究
- 韩建强
- 关键词：微电子机械系统微谐振器微传感器
- 微机械传感器的现状与发展被引量：15
- 2003年
- 概述国内外目前已实现的微机械传感器,特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。
- 朱长纯韩建强刘君华
- 关键词：微机械传感器微机电系统
- 碳纳米管薄膜微机械红外探测器
- 本发明公开了一种结构简单，具有极高的分辨率和宽光谱响应范围，灵敏度高，成本低，工艺简单的碳纳米管薄膜微机械红外探测器，包括一基座和基底材料，基座和基底材料构成微机械；在基底材料的上表面生长有碳纳米管薄膜，在基底材料的下表...
- 刘君华梁晋涛朱长纯韩建强
- 文献传递
- MEMS器件各向异性腐蚀过程中的Al连线保护被引量：1
- 2004年
- 微电子机械系统 ( MEMS)器件制造过程中的各向异性腐蚀工序 ,会引起硅片正面的 Al连线被腐蚀 ,造成器件的失效。本文论述了使用一种环氧树脂和聚酰胺调配的胶体将器件正面电路密封起来的方法 ,使 MEMS器件在 85℃ ,浓度为 3 3 %的 KOH溶液里进行各向异性腐蚀 ,可以成功地保护 Al连线。这种方法的使用 ,为
- 李昕朱长纯赵红坡韩建强
- 关键词：MEMS器件各向异性腐蚀环氧树脂
- 谐振法确定热激励微梁谐振器厚度及残余应变被引量：6
- 2003年
- 精确测量热激励微梁(悬臂梁和桥)谐振器的厚度和残余应变对研究其谐振特性具有重要意义。由于组成谐振器的薄膜厚度远小于占优层厚度,本文首先利用单层梁谐振频率推算得梁的厚度的近似值,从而得到热激励梁的等效杨氏模量和等效密度。在此基础上利用双层梁谐振频率精确推算梁的厚度和残余应变,结果与测量值符合较好。该方法具有非破坏性的优点。
- 韩建强朱长纯刘君华
- 关键词：微悬臂梁谐振器
- 一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器被引量：4
- 2003年
- 利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电压与温度成线性关系。对器件结构进行了优化设计 ,实验探索了提高传感器测量重复性的时效处理工艺。该温度传感器可用于瞬态温度的测量。
- 韩建强朱长纯刘君华魏培永
- 关键词：温度传感器时效处理微机械加工
- 振梁式真空度传感器
- 对真空度的测量可采用各种真空计,但其输出量大多为非电量或模拟式电量.本文设计了一种电热激励/压敏全桥检测Si/SiO<,2>双层微悬臂梁谐振式真空度传感器.该传感器利用微悬臂梁的谐振频率随真空度的变化而变化实现测量的,其...
- 韩建强朱长纯刘君华魏培永
- 关键词：微悬臂梁真空度测量微电子工艺
- 文献传递
- 一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器初探被引量：5
- 2003年
- 设计制作了一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器,其核心部分是一个电热激励/压敏电桥拾振的硅/二氧化硅微桥谐振器或微桥谐振器阵列.通过调节施加在压敏电桥上的电压大小来改变桥的平均温度和轴向应变,可调节滤波器的中心频率.理论研究表明:中心频率与电桥电压的平方成线性关系;中心频率的可调节范围可通过减小梁的宽度和压敏电桥的电阻来扩展.所制作的滤波器其频率可调节范围达5 45%,品质因数达8000以上.
- 韩建强朱长纯袁寿财刘君华卢文科
- 关键词：轴向应变滤波原理
