赵红坡
- 作品数：7 被引量：25H指数：2
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 一种新型微机械谐振器关键工艺--各向异性腐蚀的研究
- 介绍了一种新型的双层谐振器，并用各向异性腐蚀剂KOH和TMAH，以及结合干法刻蚀实现了谐振器的制作，并且对两种湿法腐蚀剂KOH和TMAH的腐蚀效果作了比较.
- 赵红坡朱长纯
- 关键词：各向异性腐蚀干法刻蚀
- 文献传递
- 在腐蚀过程中保护微机械器件金属连线的密封方法
- 本发明公开了一种在腐蚀过程中保护微电子机械系统器件金属连线的密封方法，其步骤如下：1.将重量比为1∶0.4-0.6∶0.05-0.08的环氧树脂E-51<Sup>#</Sup>、邻苯二甲酸二丁酯、偶联剂KH-550混合搅...
- 朱长纯赵红坡李昕刘君华
- 文献传递
- MEMS器件各向异性腐蚀过程中的Al连线保护被引量：1
- 2004年
- 微电子机械系统 ( MEMS)器件制造过程中的各向异性腐蚀工序 ,会引起硅片正面的 Al连线被腐蚀 ,造成器件的失效。本文论述了使用一种环氧树脂和聚酰胺调配的胶体将器件正面电路密封起来的方法 ,使 MEMS器件在 85℃ ,浓度为 3 3 %的 KOH溶液里进行各向异性腐蚀 ,可以成功地保护 Al连线。这种方法的使用 ,为
- 李昕朱长纯赵红坡韩建强
- 关键词：MEMS器件各向异性腐蚀环氧树脂
- 制作微谐振器的关键工艺-各向异性腐蚀中铝的保护问题
- 赵红坡
- MEMS薄膜中的残余应力问题被引量：22
- 2003年
- 在制造微电子机械系统(MEMS)的器件的过程中,通常要进行高温的薄膜淀积或生长,因此薄膜中存在的残余应力很多情况下影响着器件结构的特性,有时甚至严重劣化器件的性能。本文以实例具体分析了薄膜残余应力的影响,并介绍了残余应力的起源、产生机制以及控制。
- 朱长纯赵红坡韩建强崔万照
- 关键词：MEMS残余应力微电子机械系统
- 微机械桥型压控振荡器被引量：2
- 2004年
- 设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器.通过调节压敏电桥的桥压,改变桥的平均温升和轴向应变,可调节压控振荡器的中心频率.理论计算和实验结果表明,输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系.对所测试的器件,其线性度为0.16％,振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15％.
- 韩建强朱长纯赵红坡刘君华邵军
- 关键词：微机械微机电系统谐振器振荡频率
- 在腐蚀过程中保护微机械器件金属连线的密封方法
- 本发明公开了一种在腐蚀过程中保护微电子机械系统器件金属连线的密封方法，其步骤如下：1.将重量比为：1∶0.4－0.6∶0.05－0.08的环氧树脂E－51<Sup>#</Sup>、邻苯二甲酸二丁酯、偶联剂KH－550混合...
- 朱长纯赵红坡李昕刘君华
- 文献传递
