2024年8月17日
星期六
|
欢迎来到贵州省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
马介源
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安理工大学材料科学与工程学院
更多>>
发文基金:
西安应用材料创新基金
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
一般工业技术
更多>>
合作作者
李美莲
西安理工大学材料科学与工程学院
彭海军
西安理工大学材料科学与工程学院
王哲哲
西安理工大学材料科学与工程学院
赵高扬
西安理工大学材料科学与工程学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
中文期刊文章
领域
1篇
一般工业技术
主题
1篇
衍射
1篇
衍射效率
1篇
溶胶
1篇
溶胶-凝胶
1篇
无机
1篇
激光
1篇
激光干涉
机构
1篇
西安理工大学
作者
1篇
马介源
1篇
赵高扬
1篇
王哲哲
1篇
彭海军
1篇
李美莲
传媒
1篇
中国科学(E...
年份
1篇
2008
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究
被引量:3
2008年
有效地结合激光干涉法和化学刻蚀法,提出一种制备高密度、高衍射效率无机光栅的新方法.采用溶胶-凝胶法和化学修饰法合成具有紫外感光性的含锆溶胶,并在(100)硅基板上制备含锆感光性凝胶薄膜.利用该薄膜,结合激光干涉技术和热处理工艺制备出周期为1μm的无机ZrO2薄膜光栅.为了提高光栅的深宽比,采用碘饱和的KOH各向异性刻蚀剂对无机光栅进行湿法化学刻蚀,从而有效地提高了光栅的衍射效率.对刻蚀后的光栅进行表面镀金处理,提高光栅的表面光洁度和反射率使得光栅的衍射效率得到进一步的提高.
王哲哲
赵高扬
马介源
彭海军
李美莲
关键词:
溶胶-凝胶
激光干涉
衍射效率
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张