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马介源

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：西安应用材料创新基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射效率
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇无机
  • 1篇激光
  • 1篇激光干涉

机构

  • 1篇西安理工大学

作者

  • 1篇马介源
  • 1篇赵高扬
  • 1篇王哲哲
  • 1篇彭海军
  • 1篇李美莲

传媒

  • 1篇中国科学（E...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究被引量：3
2008年
有效地结合激光干涉法和化学刻蚀法,提出一种制备高密度、高衍射效率无机光栅的新方法.采用溶胶-凝胶法和化学修饰法合成具有紫外感光性的含锆溶胶,并在(100)硅基板上制备含锆感光性凝胶薄膜.利用该薄膜,结合激光干涉技术和热处理工艺制备出周期为1μm的无机ZrO2薄膜光栅.为了提高光栅的深宽比,采用碘饱和的KOH各向异性刻蚀剂对无机光栅进行湿法化学刻蚀,从而有效地提高了光栅的衍射效率.对刻蚀后的光栅进行表面镀金处理,提高光栅的表面光洁度和反射率使得光栅的衍射效率得到进一步的提高.
王哲哲赵高扬马介源彭海军李美莲
关键词：溶胶-凝胶激光干涉衍射效率
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