彭海军
- 作品数：5 被引量：8H指数：2
- 供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金西安应用材料创新基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程理学更多>>
- YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜的微细图形化及其临界电流密度的测试
- YBa2Cu3O7-8(YBCO)超导薄膜具有优异的电学性能,用其制作的电子器件在液氮温区具有超高灵敏度、低功耗、强抗干扰能力等优点。随着高温超导电子器件在SQUID、微波、超导天线等众多领域中的广泛应用,促进了超导薄膜...
- 彭海军
- 关键词：超导薄膜电流密度溶胶凝胶化学修饰
- 文献传递
- 高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展
- 2008年
- 高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展。首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中。
- 张黄莉赵高扬彭海军刘晓梅
- 关键词：高温超导薄膜微细图形溶胶-凝胶法化学修饰
- 溶胶-凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形被引量：1
- 2009年
- 以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸收,随着紫外光的照射,其峰值逐渐降低,凝胶在有机溶剂中的溶解性也发生变化,显示了凝胶薄膜的紫外感光性.基于这一特性,本文提出了一种YBCO超导薄膜图形制备新方法,即利用凝胶薄膜自身的紫外感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,然后在甲醇中溶洗,进一步热处理,得到了YBCO超导薄膜图形.结果表明,图形化的YBCO薄膜具有较强的c轴取向,超导转变温度TC达到92K.
- 张黄莉赵高扬彭海军
- 关键词：YBCO溶胶-凝胶感光性微细图形
- 无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究被引量：3
- 2008年
- 有效地结合激光干涉法和化学刻蚀法,提出一种制备高密度、高衍射效率无机光栅的新方法.采用溶胶-凝胶法和化学修饰法合成具有紫外感光性的含锆溶胶,并在(100)硅基板上制备含锆感光性凝胶薄膜.利用该薄膜,结合激光干涉技术和热处理工艺制备出周期为1μm的无机ZrO2薄膜光栅.为了提高光栅的深宽比,采用碘饱和的KOH各向异性刻蚀剂对无机光栅进行湿法化学刻蚀,从而有效地提高了光栅的衍射效率.对刻蚀后的光栅进行表面镀金处理,提高光栅的表面光洁度和反射率使得光栅的衍射效率得到进一步的提高.
- 王哲哲赵高扬马介源彭海军李美莲
- 关键词：溶胶-凝胶激光干涉衍射效率
- 含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究被引量：2
- 2008年
- 以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性。发现在330nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解。伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形。再经过500℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形。
- 张黄莉赵高扬薛人中彭海军
- 关键词：溶胶-凝胶法化学修饰微细图形
