黄朋生
- 作品数：4 被引量：16H指数：1
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信生物学更多>>
- 三维压电加速度传感器的设计被引量：14
- 2003年
- 设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度,其灵敏度分别为2.76×10^(-3)V·s^2/m、2.76×10^(-3)V·s^2/m、2.96×10^(-3)V·s^2/m,并且横向灵敏度几乎为零。
- 黄朋生任天令楼其伟刘建设刘理天
- 关键词：微传感器压电薄膜PZTMEMS
- MEMS生物微电极阵列的制备与实验研究
- 本文设计并制造了一种基于微机电技术的生物微电极阵列,用于神经细胞的电信号读取研究。阵列由四个等间距的微硅针组成,每个硅针上有四个20μm × 20μm的金电极。对微电极阵列的MEMS 工艺流程进行了简要的介绍,并实现了印...
- 伍晓明林建辉黄朋生刘建设任天令高小榕刘理天
- 关键词：微电极阵列MEMS
- 文献传递
- 硅基MEMS二维生物微探针阵列技术研究
- 近年来,微电极技术已成为研究神经系统内部信息表达和转换方式的主要手段之一。它不仅能够帮助明确神经元的功能定位,还是研究神经元群间的信息传递和组织方式的重要手段,而且还成为立体定向神经外科中的核心技术之一应用于临床。利用微...
- 黄朋生
- 关键词：微电极阵列体硅工艺神经细胞
- 文献传递
- 压电薄膜微致动器的制作和有限元分析被引量：1
- 2005年
- 为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电微致动器的位移/驱动电压灵敏度和谐振频率分别达到了1.396μm/±20V和15.13kHz;有限元仿真结果与实测结果基本吻合。
- 荆阳雒建斌易晓星黄朋生
- 关键词：硬盘驱动器
