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楼其伟

作品数：1 被引量：14H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压电薄膜
  • 1篇压电加速度传...
  • 1篇速度传感器
  • 1篇微传感器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇PZT
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇黄朋生
  • 1篇任天令
  • 1篇刘理天
  • 1篇刘建设
  • 1篇楼其伟

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
三维压电加速度传感器的设计被引量：14
2003年
设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度,其灵敏度分别为2.76×10^(-3)V·s^2/m、2.76×10^(-3)V·s^2/m、2.96×10^(-3)V·s^2/m,并且横向灵敏度几乎为零。
黄朋生任天令楼其伟刘建设刘理天
关键词：微传感器压电薄膜PZTMEMS
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