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楼其伟
作品数:
1
被引量:14
H指数:1
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘建设
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
任天令
清华大学信息科学技术学院微电子...
黄朋生
清华大学信息科学技术学院微电子...
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1篇
任天令
1篇
刘理天
1篇
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1篇
楼其伟
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压电与声光
年份
1篇
2003
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三维压电加速度传感器的设计
被引量:14
2003年
设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度,其灵敏度分别为2.76×10^(-3)V·s^2/m、2.76×10^(-3)V·s^2/m、2.96×10^(-3)V·s^2/m,并且横向灵敏度几乎为零。
黄朋生
任天令
楼其伟
刘建设
刘理天
关键词:
微传感器
压电薄膜
PZT
MEMS
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