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何杰辉

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅薄膜
  • 2篇掩膜
  • 2篇氧化硅薄膜
  • 2篇探针
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米加工技术
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇二氧化硅薄膜

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇罗强
  • 2篇何杰辉
  • 2篇郭建东
  • 2篇吴克辉
  • 2篇顾长志

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种基于纳米加工技术的集成微四点探针芯片制作方法
本发明公开了一种基于纳米加工技术的集成微四点探针制作方法，该方法包括以下步骤：a.在双面氧化的硅片背面生长第一氮化硅层并制作第一光阻掩膜，然后按该掩膜图案刻蚀，暴露出硅；b.在硅片正面制作第二光阻掩膜，然后去除该硅片正面...
何杰辉吴克辉罗强顾长志郭建东
一种基于纳米加工技术的集成微四点探针芯片制作方法
本发明公开了一种基于纳米加工技术的集成微四点探针制作方法，该方法包括以下步骤：a.在双面氧化的硅片背面生长第一氮化硅层并制作第一光阻掩膜，然后按该掩膜图案刻蚀，暴露出硅；b.在硅片正面制作第二光阻掩膜，然后去除该硅片正面...
何杰辉吴克辉罗强顾长志郭建东
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