唐平林
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 供职机构：同济大学理学院精密光学工程技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 湿法和溶脱法的亚微米ZnO:Al光栅制备被引量：5
- 2012年
- 以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅。表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙度分别为25.4,7.6nm。在400～900nm波段,两种方法制备的周期和高度相同的光栅,平均总反射率分别由AZO薄膜的12.5%下降到8.3%和10.2%。两者的平均镜面反射率分别为6.2%和6.6%,平均漫反射率分别为2.1%和3.6%。湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZO光栅的漫反射明显减弱,从而导致总的减反特性优于溶脱-剥离法得到的表面起伏相对较小的AZO光栅。
- 刘仁臣吴永刚夏子奂王振华唐平林梁钊铭
- 关键词：掺铝氧化锌激光干涉法湿法刻蚀
- 自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善被引量：4
- 2011年
- 采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200 nm)/Zr(300 nm)和PI(200 nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9%和7.5%。
- 伍和云吴永刚吕刚凌磊婕夏子奂刘仁臣唐平林
- 关键词：聚酰亚胺聚酰胺酸亚胺化
- 薄膜硅太阳能电池的背散射表面及其制备方法
- 本发明涉及薄膜太阳能电池的背散射表面及其制备方法，作为背散射表面的薄膜为复合膜，由与衬底直接接触的较低温度下易改变形貌的金属与Ag膜复合而成，金属膜的厚度范围是250nm~600nm，Ag膜的厚度范围是20nm~50nm...
- 吴永刚刘仁臣夏子奂唐平林
- 文献传递
- 亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性被引量：1
- 2012年
- 探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性。在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案。将其置于质量分数为0.5%的稀盐酸溶液中湿法刻蚀,制备出周期(780～1280nm)和高度(60～300nm)能独立调控的AZO一维光栅。正入射双向透射分布函数(BTDF)测试结果表明,400～900nm波段内平均镜面透射率随光栅周期增大而降低,与紫外-可见分光光度计测得的结果吻合;同时,周期越大被衍射到30°～80°范围内的漫透射比重和漫透射峰值均越大,而峰位角越小。根据光栅方程对实验结果给出了合理的解释。
- 刘仁臣吴永刚夏子奂唐平林梁钊铭
- 关键词：光栅掺铝氧化锌激光干涉法湿法刻蚀
- 准分子激光刻蚀制备300nm自支撑聚酰亚胺薄膜
- 目前亚微米自支撑PI薄膜的制备仍然是一个难点和热点课题。我们以4,4'-二氨基二苯醚(ODA)和均苯四甲酸二酐(PMDA)为单体合成聚酰胺酸(PAA)溶液,经热亚胺化后脱膜得到900 nm自支撑PI薄膜。采用Kr...
- 刘仁臣吴永刚夏子奂梁钊铭周建唐平林
- 关键词：聚酰亚胺自支撑
