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安会静
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院
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相关领域:
理学
电气工程
电子电信
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合作作者
李广
河北工业大学信息工程学院
山秀文
河北工业大学信息工程学院
杨瑞霞
河北工业大学信息工程学院
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作者
3篇
安会静
2篇
杨瑞霞
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山秀文
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李广
传媒
2篇
真空
年份
3篇
2011
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3
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射频功率对非晶硅薄膜光电性能的影响
被引量:1
2011年
采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术,在Corning Eg 2000玻璃上制备非晶硅薄膜,研究了射频功率对薄膜光电性能的影响。结果表明:通过调节功率可获得具有高折射率,高吸收系数,低暗电导率的非晶硅薄膜。
山秀文
雷青松
薛俊明
杨瑞霞
安会静
李广
关键词:
非晶硅薄膜
折射率
光学带隙
利用脉冲直流磁控溅射制备ZnO:Al薄膜的研究
被引量:1
2011年
利用中频脉冲直流磁控溅射法制备了平面ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,研究了沉积压力、衬底温度和溅射功率对AZO薄膜光电性能、薄膜稳定性的影响。结果表明:在较低沉积压力、衬底温度及溅射功率下,可获得具有低电阻率、高透过率、高稳定性的AZO薄膜。
安会静
雷青松
薛俊明
杨瑞霞
山秀文
李广
关键词:
ZNO:AL
磁控溅射
AZO
适用于硅基薄膜太阳能电池的绒面ZAO陷光材料的研究
本文利用陶瓷靶(Al2O3:2%wt)在浮法玻璃衬底上利用中频脉冲直流磁控溅射法制备出了ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜。研究了工作压力、衬底温度和溅射功率对ZAO薄膜的结构性能和光电性能的影响,工作压力对ZAO薄膜稳...
安会静
关键词:
湿热稳定性
晶体结构
表面形貌
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